第十一 章 晶体薄膜衍射衬度成像分析.ppt

第十一章 成像分析;一、质厚衬度和衍射衬度;（1）单个原子对入射电子的散射 当一个电子穿透非晶体薄膜样品时，将与样品原子核和核外电子相互作用，由于电子质量比原子核小得多，所以原子核对电子的散射一般只引起电子改变运动方向，而能量没有变化，称为弹性散射。其散射角：; 弹性散射截面： 当一个电子与一个孤立的核外电子发生散射时，入射电子的运动方向发生改变，能量也会发生变化。称非弹性散射。 其散射角: 非弹性散射截面： 那么一个原子的弹性散射截面与非弹性散射截面之和： ;（2）透射电子显微镜小孔径角成像 为确保高分辨率，采用小孔径角成像。在物镜背焦面插入一小孔径的物镜光栏来实现。 （3）质厚衬度的成像原理 下面讨论非晶体样品的厚度、密度与成像电子强度的关系。如果忽略原子之间的相互作用，则每立方厘米包含N个??子的样品的总散射截面为：;如果1平方厘米样品表面积的电子数为n，当其穿透dt厚度样品后有dn个电子被散射到光栏外，即其减少率为：; 入射电子总数。 电子束强度所以;如果以 表示强度为 的入射电子，通过样品A区域后，进入物镜光栏参与成像的电子强度；以 表示强度为 的入射电子，通过样品B区域后，进入物镜光栏参与成像的电子强度，那么投射到荧光屏或照相底片上相应的电子强度差 ，则：;若复型是同种材料制成的，则可简化：;;对于晶体薄膜样品而言，厚度大致均匀，原子序数也无差别，因此，不可能利用质厚衬度来获得图象反差，晶体薄膜样品成像是利用衍射衬度成像，简称“衍射衬度” （1）晶体样品的衍射衬度及形成原理由样品各处衍射束强度的差异形成的衬度称为衍射衬度。或是由样品各处满足布拉格条件程度的差异造成的。; ? 设有A、B晶粒? B内的某(hkl)晶面严格满足Brag条件，或B晶粒内满足“双光束条件”，则通过(hkl)衍射使I0分解为Ihkl和IO-Ihkl两部分? A内所有晶面与Bragg角相差较大，不能产生衍射。;? 在物镜背焦面上的物镜光阑，将衍射束挡掉，只让透射束通过光阑孔进行成像，此时，像平面上A和B晶粒的光强度或亮度不同，分别为 IA≈I0 IB =I0 - Ihkl ;;3、相位衬度;二、透射电镜的基本成像操作;③中心暗场像： 入射电子束相对衍射晶面倾斜角，此时衍射斑将移到透镜的中心位置，该衍射束通过物镜光栏形成的衍衬像称为中心暗场成像。 减小球差，中心暗场成像比普通暗场成像清晰。电子束倾斜由照明系统的上下偏转线圈来完成。;;三、双光束衍射条件;四、消光距离;由此可见，由于透射波和衍射波强烈的动力学相互作用结果，使I0和Ig在晶体深度方向上发生周期性的振荡，此振荡的深度周期叫消光距离，记作ξg。这里，“消光”的意义指的是，尽管满足衍射条件，但由于动力学相互作用而在晶体一定深度处衍射波和透射波的实际强度为0对一特定的反射，理论推导得到;式中 ;;五、衍衬运动学;1 基本假设与实验条件;4) 柱体近似，试样下表面某点所产生的衍射束强度近似为以该点为中心的一个小柱体衍射束的强度，柱体与柱体间互不干扰。可将试样看作许多晶柱平行排列组成的散射体。 ;实验条件：;2 完整晶体的衍射强度;下面计算厚度为t的晶柱OA所产生的衍射强度。首先需要计算晶柱OA下表面处的衍射波振幅Φg，由此可求得衍射强度。 若设最大振幅为1，平行于表面的平面间距为d，则厚度元dz内有dz/d层原子。根据Fresnel分带法可求出每层点阵面的散射振幅为;则按Fresnel衍射原理，由此厚度元dz在衍射方向上的散射波振幅变化为dΦg  晶体下表面的衍射振幅等于上表面到下表面各层原子面在衍射方向的衍射波振幅叠加的总和;式中　　 是r处原子面散射波相对于晶体上表面位置散射波的相位差。 ;（注意：近似平行）;则柱体下表面衍射波的合成振幅Φg 　　　 　　  衍射强度：;完整晶体的衍射强度公式：  　　　　　 ξg — 消光距离 S — 偏离参量 t — 样品厚度 ;为了更为形象地表达，可进一步分析。一个厚度元dz的衍射振幅为 可以认为，dz即表示了厚度元的厚度，也表示该厚度元内衍射振幅的大小。如果取所有厚度元的dz都相等，相邻两厚度元的散射波之间相对相位差为 dφ=2πsdz;这样，若把一个晶柱内各厚度元的散射波振幅矢量叠加起来，就会得到一个圆，半径为R = 1/2πs，该圆称为振幅圆，见图a。;证 明：;完整晶体的衍射强度公式： ξg — 消光距离 S — 偏离参量 t —