电容传感器及其应用.ppt

由电路知识可知 （5-39） （5-40） 将T1、T2代入式（5-38），得 （5-41） 把平行板电容的公式代入式（5-41），在变极板距离的情况下可得 （5-42） 式中, d1、d2分别为Cx1、Cx2极板间距离。  当差动电容Cx1= Cx2=C0，即d1=d2=d0时，Uo=0；若Cx1≠Cx2， 设Cx1 Cx2 ，即d1=d0-Δd, d2=d0+Δd, 则有 （5-43） 同样， 在变面积电容传感器中， 则有 （5-44） 由此可见，差动脉宽调制电路适用于变极板距离以及变面积差动式电容传感器，并具有线性特性，且转换效率高，经过低通放大器就有较大的直流输出，调宽频率的变化对输出没有影响。 5.5 电容式传感器的应用 5.5.1 电容式压力传感器 图5-17为差动电容式压力传感器的结构图。 图中所示膜片为动电极，两个在凹形玻璃上的金属镀层为固定电极，构成差动电容器。 当被测压力或压力差作用于膜片并产生位移时， 所形成的两个电容器的电容量，一个增大， 一个减小。 该电容值的变化经测量电路转换成与压力或压力差相对应的电流或电压的变化。 5.5.2 电容式加速度传感器 图5-18 差动式电容加速度传感器结构图 当传感器壳体随被测对象沿垂直方向作直线加速运动时， 质量块在惯性空间中相对静止，两个固定电极将相对于质量块在垂直方向产生大小正比于被测加速度的位移。此位移使两电容的间隙发生变化，一个增加，一个减小，从而使C1、C2产生大小相等、符号相反的增量，此增量正比于被测加速度。  电容式加速度传感器的主要特点是频率响应快和量程范围大， 大多采用空气或其它气体作阻尼物质。 5.5.3 差动式电容测厚传感器 电容测厚传感器是用来对金属带材在轧制过程中厚度的检测，其工作原理是在被测带材的上下两侧各置放一块面积相等， 与带材距离相等的极板，这样极板与带材就构成了两个电容器C1、C2。把两块极板用导线连接起来成为一个极， 而带材就是电容的另一个极，其总电容为C1 + C2 ，如果带材的厚度发生变化， 将引起电容量的变化， 用交流电桥将电容的变化测出来， 经过放大即可由电表指示测量结果。  图 5-19 差动式电容测厚仪系统组成框图 THANK YOU SUCCESS * * 可编辑 当θ≠0时， 则 （5-9） 从式（5-9）可以看出，传感器的电容量C与角位移θ呈线性关系。 5.1.3 变介质型电容式传感器 如图5-7示。 　　此时变换器电容值为： 式中： C0——由变换器的基本尺寸决定的初始电容值, 即 (5-10) 可见：此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。 图5-7 电容式液位变换器结构原理图 　　变介质型电容传感器有较多的结构形式，图5-8是一种常用的结构形式。 　　图中两平行电极固定不动，极距为d0，相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介质的极板覆盖面积。 传感器总电容量C为 (5-11) 若电介质εr1=1, 当L=0时，传感器初始电容C0=ε0εrL0b0/d0。 当被测介质εr2进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为 (5-12) 可见，电容量的变化与电介质εr2的移动量L成线性关系。 图5-8 变介质型电容式传感器 表5-1 电介质材料的相对介电常数 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 前面已得到： 电容的相对变化量为 (5-13) 当|Δd/d0|1时，按级数展开，可得 (5-14) 可见，输出电容的相对变化量ΔC/C0与输入位移Δd之间成非线性关系，当|Δd/d0|1时可略去高次项，得到近似的线性关系： (5-15) 电容传感器的灵敏度为 (5-16) 说明：单位输入位移所引起的输出电容相对变化的大小（即灵敏度）与d0呈反比关系。 如果考虑式（5-14）中的线性项与二次项， 则 (5-17) 由此可得出传感器的相对非线性误差δ为 (5-18) 由式（5-16）与式（5-18）可以看出：要提高灵敏度，应减小起始间隙d0，但非线性误差却随着d0的减小而增大。 在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性误差，大都采用差动式结构。如图5-9示。 在差动式平板电容器中，当动极板位移Δd时，电容器C1的间隙d1变为d0-Δd，电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则 (5-19) (5-20) 图5-9 差动平板式电容传感器结构图 在Δd/d01时, 按级数展开得 (5-