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光纤频谱仪测试膜厚的新技术研究!
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孙 艳 孙 锋 杨玉孝 谭玉山
西安交通大学激光红外研究所 西安 $ 空军工程学院航空电子工程系 西安
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摘要 在 型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的玻璃片 入射光在薄膜层的上下表面处两次反射 由于光程差的存在
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反射光会发生干涉 不需要测量干涉条纹 根据 反射定律 仅通过对反射光谱的分析计算 可以测出薄膜的厚度以及折
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射率 该方法测量精度高 速度快 对薄膜无破坏作用 膜厚测量范围为 至几十微米 测量误差小于
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关键词 光纤 干涉 频谱 光程差
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