清华大学奈米与微系统科技中心-线上课程.DOCVIP

PAGE 修訂日期：108-06-10PAGE 2 修訂日期：108-06-10 清華大學奈微與材料科技中心 108年 暑假 奈米與微製程實驗訓練班 課程簡章 ◎課程目的： 為增進學生與研究人員在奈米與微製程領域的知識與技術，本中心精心規畫短期半導體理論課程與PMOS實驗訓練課程，做為進入無塵室研究之基礎訓練課程，以增加學員在製程實驗與研究能力上的實務經驗，並替未來奠下良好基礎。 ◎課程特色： 師資陣容堅強 理論課程(線上)：由本中心博士級研究人員專業授課； 實驗課程：由操作機台設備經驗豐富之技術人員指導授課。 課程內容完整 理論課程：加強受訓者之無塵室奈米與微製程相關知識及基礎實驗技能。 實驗課程：包括P- Channel Metal Oxide Semiconductor (PMOS)製程影片講解，並實地訓練標準清洗、微影製程、薄膜沉積製程、蝕刻等相關實驗。 課程方案 方案一：理論課程（線上觀看影片） 方案二：實驗課程 【註1】：修習過本中心〔理論課程〕+〔實驗課程〕，並通過完整(理論+實驗)考核後，可直接申請參加NDL製程技術機台儀器訓練。 【註2】：修習過附件一(半抵免)課程者，可免上本中心〔理論課程〕，僅需單修〔實驗課程〕，並通過考核後，始能申請本中心製程儀器之訓練及考核。 (線上報名時，請上傳修課證明或成績單) 【註3】：修習過附件二(全抵免)課程者，可直接申請本中心製程儀器之訓練及考核。 一、課程內容 課程方案 講義主題 授課講員 理論課程 （線上觀看影片） 半導體導論與無塵室基礎設施介紹 岑 尚 仁 標準清洗與高溫氧化 岑 尚 仁 擴散製程 岑 尚 仁 微影製程 岑 尚 仁 物理氣相沉積製程（PVD） 李 薇 妮 化學氣相沉積製程（CVD） 李 薇 妮 蝕刻製程 游 家 睿 課程方案∕梯次 上課時段 課程內容 授課講員 上課地點 實驗課程 第一梯 108年07月23-24日 第二梯 108年08月06-07日 第三梯 108年08月13-14日 第四梯 108年09月03-04日 第一天 08:30～09:00 報到 創新育成大樓321室 09:00～12:00 PMOS製程流程詳解 張瀞文 吳若穎 戴依馨 宋明穎 沈維哲 13:30～17:30 濕式清洗製程實作 物理氣相沉積製程 講解與實作 清華實驗室 1F無塵室 第二天 08:30～09:00 報到 創新育成大樓321室 09:00～12:00 無塵室設備介紹 測驗 13:30～17:30 黃光微影製程實作 濕式蝕刻製程實作 張瀞文 吳若穎 戴依馨 宋明穎 沈維哲 清華實驗室 1F無塵室 量測分析設備介紹 李薇妮 劉恩惠 創新育成大樓321室 二、收費標準 課程方案 清大 學界 業界 方案一 理論課程（線上觀看影片） 2,000元/人 3,000元/人 4,500元/人 方案二 實驗課程 2,500元/人 3,500元/人 5,000元/人 方案一 + 方案二 理論課程（線上觀看影片）+ 實驗課程 3,500元/人 5,500元/人 8,500元/人 【註4】：欲同時修習〔理論課程 + 實驗課程〕者，請同時報名〔方案一 + 方案二〕 【註5】：上列費用包含一次考核及一張證書。 三、對象與注意事項 對奈米／微機電系統領域有興趣之學生、學界及業界人士皆可報名。 修習方案一學員須觀看完理論課程影片後，親至本中心參加考核，且測驗成績高於70分者，本中心發予修課證書。 修習方案二學員須全程參與現場實驗課程後，親至本中心參加考核，且測驗成績高於70分者，本中心發予修課證書。 修習〔方案一+方案二〕學員須觀看完理論課程影片及全程參與現場實驗課程後，親至本中心參加考核，且測驗成績高於70分者，本中心發予修課證書。 若現場實驗課程各梯次報名人數未滿16人者，本中心將延後開課日期，待報滿16人後，再另訂開課日期。 四、報名與繳費辦法 本課程採線上報名(網址：8:7480)。 現場〔實驗課程〕報名截止日期： 第一梯：即日起至108年07月15日中午12點止。 第二梯：即日起至108年07月29日中午12點止。 第三梯：即日起至108年08月05日中午12點止。 第四梯：即日起至108年08月26日中午12點止。 【註6】：接獲繳費通知後，須於3日內，繳交費用；若期限內未繳費，視同放棄，將直接由候補者遞補，本中心將不另行通知，請見諒。 【註7】：繳費完，並接獲〔已入帳〕通知後，方可算報名完成。 於現場〔實驗課程〕開課前7天內（含假日）取消報名者概不退費，其餘酌收1/4報名費為行政處理費，故在報名時，請務必審慎考量，斟酌行事。 五、校內住宿資訊(自費、需自行訂房) 1. 清華會館 (.tw/) 2. 清齋10樓短期住宿 (.tw/guest10/) 六