日立电镜三维解析方案之白光干涉仪.PDFVIP

日立电镜三维解析方案之白光干涉仪 白光干涉仪可以通过光的干涉来测量样品表面的 3D 形貌，即样品表面反射的光与参比光相干 形成亮暗交替的条纹，这些条纹类似于等高线，从中可以得到样品的高度信息。相比于其他 3D 分 析方法而言，白光干涉仪可以实现非接触、大面积、快速、高精度测量。 白光干涉仪原理 日立最新的纳米尺度3D 光学干涉测量系统 VS1800 采用干涉光非接触测量，可以实现 3D 形 貌和粗糙度的测量，也可以实现多层膜厚及膜内缺陷的测量，测量范围大，数据重复性高。 橡胶样品（左）和螺纹样品（右）表面 3D 形貌和粗糙度测量 除了测量表面 3D 形貌和粗糙度外，VS1800 还可以测量多层膜厚以及样品内部的缺陷。下图 中薄膜表面有一个凸起，通过VS1800 测量可以得到凸起部分的 3D 形貌以及凸起的高度和大小。 且对薄膜内部分析发现薄膜内部有一条缝隙，且凸起部分在薄膜内部也有凸起，缝隙的尺寸也可以 测量得到。 薄膜表面凸起和内部缝隙的观察和测量 VS1800 可以对同一表面的不同粗糙度数值进行分析，自动排列最符合实际情况的粗糙度值，