离子研磨仪在锂离子电池的扫描探针显微镜观察中的应用.PDFVIP

离子研磨仪在锂离子电池的扫描探针显微镜观察中的应用 仪器: 高真空可控环境型扫描探针显微镜 AFM5300E 平面截面加工一体式离子研磨仪 IM4000 Plus 背景和目的 通过SPM对样品的电性能进行测试时，如果表面粗糙度比较大，探针扫描方向的阻力变化会影响到电气性能测试的准确性。这 种问题可以使用离子研磨仪来进行前处理，并结合日立专有的SIS （Sampling Intelligent Scan）扫描模式测量可以得到很大的 改善。 本次应用中通过使用和不使用离子研磨仪做前处理来验证表面电阻的分布差异，测试时使用SIS-SSRM （扩展电阻显微镜）进行 测试。 (a) (b) Current IM4000 Plus AFM5300E 离子研磨仪截面加工