GB/T 26533-2011俄歇电子能谱分析方法通则.pdf

; ICS37.02017.180 N33 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT26533 2011 俄歇电子能谱分析方法通则 GeneralrulesforAuerelectronsectroscoicanalsis g p p y 2011-05-12发布 2011-12-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT26533 2011 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 方法原理 ………………………………………………………………………………………………… 1 5 仪器 ……………………………………………………………………………………………………… 2 5.1 仪器组成 …………………………………………………………………………………………… 2 5.2 仪器性能 …………………………………………………………………………………………… 3 6 样品 ……………………………………………………………………………………………………… 3 7 分析步骤 ………………………………………………………………………………………………… 4 7.1 能量标尺校正 ……………………………………………………………………………………… 4 7.2 AES定性分析及操作步骤 ………………………………………………………………………… 6 7.3 俄歇电子能谱的定量分析 ………………………………………………………………………… 6 7.4 深度剖析 …………………………………………………………………………………………… 7 7.5 元素化学态分析 …………………………………………………………………………………… 7 8 分析结果的表述 ………………………………………………………………………………………… 7 8.1 俄歇全谱 …………………………………………………………………………………………… 7 8.2 窄谱 ………………………………………………………………………………………………… 7 8.3 线扫描谱 …………………………………………………………………………………………… 7 8.4 深度剖析谱 ………………………………………………………………………………………… 7 8.5 多点显微对比分析 ………………………………………………………………………………… 8 样品表面元素分布图( )……………………………………………………………… 8.6 Auerma 8 g p 8.7 分析结果表述方式 ………