第七章纳米材料检测与表征.ppt

The Idea of Magnification The Idea of Magnification 扫描电子显微镜 JSM-6360LV 1.高真空模式：3.0nm 低 真空模式：4.0nm2.低真空度1 to 270Pa，高、低真空切换3.样品台X:80mm Y:40mm T:-10 to +90degree R:360degree4.加速电压0.5kV to 30Kv束流1pA—1uA5.真空系统马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱 用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。 1.既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电 压下高质量的图像。 2.全自动电子枪3.高灵敏度半导体背散射探头 4.超级圆锥形物镜，高精度的变焦聚光镜系统 5.大样品室，全对中的样品台，大视野观察范围可观测到2厘米见方的样品 主要特点 KYKY-2800B型扫描电子显微镜 1.分辨本领： 4.5nm 2.放大倍数： 15X～250,000X 3.加速电压： 0.1kV～30kV 4.试样尺寸： Φ60mm（最大） 1、分辨率 6.0nm(钨丝阴极) 2、放大倍数 15倍～250000倍 3、电子光学系统 电子枪： 发叉式钨丝阴极  加速电压：0～30KV  透镜系统：三级电磁透镜  物镜光阑：三个可在真空外选择调节 KYKY-EM3200型数字化扫描电子显微镜 CSPM 3000系列扫描探针显微镜 广泛的应用范围 物理学 化学 生物和生命科学 材料科学 微电子科学和技术 表面科学 纳米科学和技术 CSPM3000系列多模式扫描探针显微镜 性能指标 ■ 分辨率： 扫描探针显微镜(STM)： 横向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定标） 原子力显微镜(AFM)： 横向 0.26nm 垂直 0.1nm（以云母定标） ■ 探针激励信号： 振幅为0～2V 频率为 DC～1000kHz （32-bit分辨率） AP-990?原子力显微镜? ?????????????????? Atomic Force Microscopes 观察抛光固本表面、薄膜表面的表面形貌,价键状态；观察集成电路芯片的光刻质量,掺杂后的电场分布,用于观察信息存贮材料表面磁场分布磁畴等.可用于微电子集成电路器件的失效分析. 扫描探针显微镜 Scanner ???X,Y?scan?size:?200?×?200?micron ???X,Y?resolution:?1?nm ???Z?range:?15?micron ???Z?resolution:??0.5?nm Approach ???Type:?Automatic ???Length:??1.5?mm ?Operation ????Mode:?AC,?DC,?LFM,?MFM. ???Optional?mode:?STM,? Conductive?AFM. ???Imaging:?Topography,?Phase, ????Lateral?Force. Objective ???Type:?Bright?Field. ????Focal?length:?95?mm. Magnification:?15X.  AJ-Ⅰ型扫描隧道显微镜（STM) 1.STM探头 2.悬吊式抗震架 3.AJ-Ⅰ型扫描隧道显 微镜 控制箱 4.控制软件及离线软件 5.测试样品及常用备品备件 主要特点 1.样品尺寸：φ≤10mm 2.扫描范围：ＸＹ方向　3μm×3μm ６μm×６μm 　　　　　　 3.分辨率：XY方向：0.1nm, 　　　　 Z方向：0.01nm　能够常规得到高序石墨（HOPG）表面原子图像 4.针尖逼近行程及精度：行程≥10nm，精度≤0.1μm,纳米级步进马达自动保护 驱近 ; 5.扫描模式：恒流模式、恒高模式,I-V曲线、Ｉ-Z曲线; 6.扫描方式：连续扫描，可任意改变扫描方向;采样数：256点/线 7.悬吊式抗震装置 ; 8.扫描速度：０.1~20Hz ;标准串行接口（可以接手提电脑）; 技术参数 扫描力显微镜 原子力显微镜发明以后，又出现了一些以测量探针与样品之间各种作用力来研究表面性质的仪器，例如：以摩擦力为对象的摩擦力显微镜、研究磁场性质的磁力显微镜、利用静电力的静电力显微镜等。这些不同功能的显微镜在不同的研究领域发挥着重要的作用，它们又统称为扫描力显微镜（Scanning?Force?Microscope,简称SFM