微电子技术概论1.ppt

微电子学概论 北京大学 参考书 《微电子学概论》：张兴/黄如/刘晓彦，北京大学出版社，2000年1月 《半导体器件物理与工艺》，施敏，科学出版社 本课程的目的 什么是微电子学和微电子学是研究什么的 对微电子学的发展历史、现状和未来有一个比较清晰的认识 初步掌握半导体物理、半导体器件物理、集成电路工艺、集成电路设计、集成电路CAD方法、MEMS技术等基本概念，对微电子学的整体有一个比较全面的认识 主 要 内 容 微电子技术简介 半导体物理和器件物理基础 大规模集成电路基础 集成电路制造工艺 集成电路设计 集成电路设计的CAD系统 几类重要的特种微电子器件 微机电系统 微电子技术发展的规律和趋势 第一章绪 论 绪 论 什么是微电子学 晶体管的发明 集成电路的发展历史 集成电路的分类 微电子学的特点 微电子学：Microelectronics 微电子学——微型电子学 核心——集成电路 集成电路： Integrated Circuit，缩写IC 通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片（如硅或砷化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能 封装好的集成电路 集成电路芯片的显微照片 64M SDRAM （华虹NE