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Xi’an Jiaotong University 现代检测技术 传感器技术概述 精勤求学 敦笃励志 果毅力行 忠恕任事 Xi’an Jiaotong University 传感器的定义与组成 Xi’an Jiaotong University 传感器的定义与组成 电量 电参数和电量 Xi’an Jiaotong University 传感器的分类 Xi’an Jiaotong University 传感器的分类 敏感元件将被测信号转换为中间变量,如膜片、环的变形等; 变换器(在辅助电源作用下)将中间变量转换为电量变化,如应变式电阻变换器。 结构型 敏感元件或弹性元件+变换器 物性型 无中间转换机构,如热敏电阻 Xi’an Jiaotong University 传感器的分类 能量转换型(自源型) 能量控制型(外源型) Xi’an Jiaotong University 传感器的分类 (5) 按传感器输出量分为电量型、电参数型: 电量-电压、电流、电荷; 电参数-电阻、电感、电容、互感 Xi’an Jiaotong University 1)容量——输入信号工作范围或量程; 2)驱动——输出的负载能力(包括数字输出接口)、 电气、机械特性 3)静态特性指标——线性度、灵敏度、分辨率、迟滞、重复性、稳定性等; 4)动态特性指标——固有频率、阻尼比、时间常数等; 5)可靠性——工作寿命、故障率、绝缘、耐压、耐温等; 6)对环境要求的指标——工作温度范围、抗潮湿、抗电磁干扰、抗冲振要求等; 7)使用配电要求——供电方式、安装方式、输入输出阻抗等。 传感器的常用技术性能指标 Xi’an Jiaotong University 2)高精度、高可靠性、无迟滞性、工作寿命长(耐用性) 3)高响应速率、可重复性、抗老化、抗环境影响(热、振动、酸、碱、空气、水、尘埃)的能力 4)选择性、安全性(传感器应是无污染的) 、互换性、低成本 5)宽测量范围、小尺寸、重量轻和高强度、宽工作温度范围 1)高灵敏度、线性、抗干扰的稳定性(对噪声不敏感)、容易调节(校准简易) 传感器性能的基本要求 Xi’an Jiaotong University 弹性敏感元件 Xi’an Jiaotong University 弹性敏感元件 弹性模量、刚度的关系 金属在弹性范围内,外力和变形成比例地增长,即应力与应变成正比例关系时(符合虎克定理),这个比例系数就称为弹性模量,根据应力,应变的性质通常又分为:弹性模量和切变模量,弹性模量的大小,相当于引起物体单位变形时所需应力之大小,是衡量材料刚度的指标,弹性模量愈大,刚度也愈大。 Xi’an Jiaotong University 弹性敏感元件的基本特性 Xi’an Jiaotong University 弹性敏感元件的基本特性 Xi’an Jiaotong University k —— 弹性敏感元件的刚度 ——其等效振动质量 上式为固有频率估算式,其中 弹性敏感元件的基本特性 Xi’an Jiaotong University A——谐振状态下的振幅 A0——静态振幅 (=K) 弹性敏感元件的基本特性 Xi’an Jiaotong University 弹性敏感元件的基本特性 Xi’an Jiaotong University 弹性敏感元件的材料 Xi’an Jiaotong University 弹性敏感元件的结构与力学特性 F——被测作用力, E——材料的弹性模量, A——横截面积, μ——材料的泊松系数, ρ——材料的密度, l——柱式弹性元件的长度 柱式弹性敏感元件主要用于电阻应变式拉(压)力等传感器。 Xi’an Jiaotong University 在梁的根部(x=0),应变最大,在x=l处应变为零;梁的上下表面应变性质相反。 弹性敏感元件的结构与力学特性 2)梁式弹性敏感元件 (a) 等截面梁 Xi’an Jiaotong University 弹性敏感元件的结构与力学特性 2)梁式弹性敏感元件 梁的截面成等腰三角形,集中力F作用在三角形顶点。梁内各横截面产生的应力是相等的,表面上任意位置的应变也相等 。 用梁式弹性元件制作的力传感器适于测量5,000N以下的载荷,最小可测约0.01N的力。这种传感器结构简单,加工容易,灵敏度高,常用于小压力测量中。 (b) 等强度梁 Xi’an Jiaotong University 结构简单,灵敏度高,多用于较小力的测量。以应变或自由端的位移作为输出量。 实际应用中常采用特殊形状的梁式弹性元件,如双孔梁、S形元件等,克服了力的作用点移
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