第1章 材料微观分析概论.ppt

⑥原子力显微镜(AFM) AFM的特点和使用范围 1. 具有极高的分辨率。水平分辨率小于0.1纳米，垂直分辨率小于0.01纳米。 2. 可以在大气，高真空，液体等环境中检测导体，半导体，绝缘体以及生物样品的三维形貌，尺寸等。 3. 可以在纳米尺度测量材料的机械性能，例如粗糙度，粘滞，摩擦，润滑等。 样品：洁净的平整表面。 X射线衍射仪 X射线衍射仪 D8－X射线衍射仪 物相分析 (物相鉴定与定量相分析) 晶体学分析（晶粒大小、指标化、点阵参数测定、解析结构等） 薄膜分析 (薄膜的厚度、密度、表面与界面粗糙度以及测定单晶外延膜结构特征) 织构分析、残余应力分析 不同温度下结构变化的原位动态分析 X射线衍射能解决的问题 本章小结 一. 材料工程与检测技术 二. 微观检测技术发展历史 三. 现代微观测试仪器 目前，集成电路晶体管普遍采用硅材料制造，当硅材料尺寸小于10纳米时，用它制造出的晶体管稳定性变差。而石墨烯可以被刻成尺寸不到1个分子大小的单电子晶体管。此外，石墨烯高度稳定，即使被切成1纳米宽的元件，导电性也很好。因此，石墨烯被普遍认为会最终替代硅，从而引发电子工业革命 X－射线 的发现 1895年伦琴(Rёntgen)在研究阴极荧光时发现了一种未知射线，取名为X－射线波长100～0.5?。 1901年伦琴获第1届诺贝尔物理学奖 Wilhelm Conrad Rёntgen 1845年～1923年 德国人 要探索更微观的世界，就要寻找波长更短的光源。 电子的发现 1897年汤姆森（Joseph John Thomson）发现了比原子更小的粒子一电子。这一发现打开了20世纪原子物理学的大门。 1906年获诺贝尔物理学奖。 Joseph John Thomson1859年～1940年英国人 X－射线衍射仪 1912年劳埃发现X－射线在晶体中的衍射现象，布拉格父子用X射线衍射方法测定了NaCl晶体的结构，开创了晶体结构分析的历史。 使微观测试技术从μm →nm。 光学显微镜，X射线衍射在微观研究中发挥了重要的作用。但是光学显微镜分辨率低；X射线衍射衍射信息弱，聚焦成像困难，只能给出总体和平均的结果，因此限制了它们的应用。 电子显微镜诞生前夜 1924年德布罗意（De Broglie）发现高速运动的电子波长很短，λ ＝0 05?。 1926年布施（Busch）提出用轴对称的电场，轴对称的磁场来聚焦电子线。 1927年戴维森（C.J.Davisson）,汤姆森（G.P.Thomson）证实了电子的波动性。 从而为电子显微镜的电子光学设计提供了理论基础。 电子显微镜诞生 1931－1933年鲁斯卡（E.Ruska）设计制造了第一台电子显微镜，开创了探讨微观世界的新篇章。 1986年获诺贝尔物理学奖。 Ernst Ruska 德国人1906年～1988年 扫描探针显微镜 1982年宾尼格（G.binnig），罗勒（H.Rothrer）发明了扫描隧道显微镜（STM），主要用于观察原子（三维）和操纵原子。 1986年宾尼格（G.binnig）研究组又发明了原子力显微镜（AFM）。用于观察原子和三维表面形态。 1986年获诺贝尔物理学奖 下面讲第三个问题，现代微观测试仪器 以上讲的是第二个问题, 微观检测技术的发展历史。 1. 光学显微镜 2. X射线衍射仪 3. 电子显微镜 4. 扫描探针显微镜 四个阶段 透射电子显微镜扫描电子显微镜 电子探针显微分析仪 俄歇电子能谱仪 X射线衍射仪 扫描探针显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 现代微观 测试仪器 三. 现代微观测试仪器 X射线衍射学 电子显微学 三维表面形貌学 现代测试仪器分别检测的信号 现代测试仪器的性能及用途 入射电子与固体样品作用时产生的信号 入射电子 背散射电子 二次电子 透射电子 弹性散射电子 非弹性散射电子 俄歇电子 特征X射线 试样 吸收电子 1.入射电子与固体样品作用时产生的信号 2. 现代测试仪器种类 ①.透射电子显微镜(TEM) ②.扫描电子显微镜(SEM) ③.电子探针X射线显微分析仪（EPMA） ④.俄歇电子能谱仪 ⑤.扫描隧道显微镜(STM) ⑥.原子力显微镜(AFM) ⑦. X射线衍射仪 3. 现代测试仪器的性能及用途 ①透射电子显微镜(TEM) 检测透射电子。 高分辨率：点分辨率0.12nm，晶格分辨率约0.1nm。 高放大倍数：直接放大150万倍，能看到原子或原子团。 主要用于HREM分析，显微组织观察（各组成相的形态.大小.分布，晶体缺陷－位错.层错.孪晶.