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多晶工艺流程及多晶炉简介.ppt

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多晶硅锭制成训练;1.光伏产业的认知;2原材料的认识;硅的物理化学性质;硅材料的导电类型;Date;高纯硅的外观形态;Date;Date;用料种类:;工艺流程-坩锅的喷涂处理;;工艺流程-装料过程;DSS炉外围设施要求; 左图为多晶 DSS 炉的剖面图,可简略看出多晶DSS炉内结构。炉内结构大体可分为三块: (1)炉内加热电极; (2)隔热配件,俗称“隔热笼”; (3)DS-Block;Date;Date;;多晶炉压力系统;多晶炉水系统;加热;熔化;Date;长晶;Date;退火;冷却;Date;Date;Date;硅原料;

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