双作用压电泵绝缘压电振子-光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １６ １ 　 Ｖｏｌ．１６ Ｎｏ．１ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００８ １ Ｊａｎ．２００８ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００８０１０１０３０５ 　 双作用压电泵绝缘压电振子 ， １２ ２ ２ ２ １ 吴丽萍 ，程光明 ，杨志刚 ，曾 平 ，吴银柱 　 （ 长春工程学院，吉林 长春 ； 吉林大学 机械科学与工程学院，吉林 长春 ） １． １３００１２ ２． １３００２５ 摘要：提出了对压电泵中的动力元件—压电振子进行特殊绝缘处理的方法，使压电振子在两个方向弯曲变形时都有输出 工作能力，形成双面作用的绝缘压电振子。阐述了由一个绝缘压电振子形成两个工作腔体的双作用压电泵结构。根据 小挠度弹性弯曲理论导出了绝缘圆形复合压电振子的弹性曲面微分方程，阐述了绝缘处理方案和过程，并对其绝缘特性 进行了分析。对绝缘压电振子进行了实验测试，实验结果表明：双作用绝缘压电振子不仅具有绝缘特性，而且具有良好 的韧性和强度，其击穿电压比未经绝缘处理的压电振子的击穿电压提高了２０ ３０Ｖ。 ～ 关 键 词：压电泵；双作用；绝缘压电振子 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ３８ＴＮ３８４ Ａ 　　 犚犲狊犲犪狉犮犺狅狀犻狀狊狌犾犪狋犲犱犫犻犿狅狉犺犻狀 犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮 狆 狆 狌犿 狑犻狋犺犱狅狌犫犾犲犳狌狀犮狋犻狅狀狊 狆 狆 ， １２ ２ ２ ２ １ ， ， ， ， ＷＵＬｉｉｎ ＣＨＥＮＧＧｕａｎｍｉｎ ＹＡＮＧＺｈｉａｎ ＺＥＮＧＰｉｎ ＷＵＹｉｎｚｈｕ ｐ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ （ ， ， ； １．犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犆犺犪狀犮犺狌狀１３００１２犆犺犻狀犪 犵