原创力文档- 33
- 0
- 约1.06万字
- 约 32页
- 2021-06-09 发布于四川
-
正版发售
- 现行
- 正在执行有效期
- | 2018-12-28 颁布
- | 2019-11-01 实施
- 1、本标准文档共32页，仅提供部分内容试读。
- 2、本网站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
- 3、本网站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
- 4、标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题
查看更多
本标准是GB／T26068-2018-硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法
ICS77.040
H21
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT26068 2018
代替 / —
GBT26068 2010
硅片和硅锭载流子复合寿命的测试
非接触微波反射光电导衰减法
Testmethodforcarrierrecombinationlifetimeinsiliconwafersand
—
siliconinots Non-contactmeasurementofhotoconductivitdeca
g p y y
b microwavereflectancemethod
y
2018-12-28发布 2019-11-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
中国国家标准化管理委员会
/ —
GBT26068 2018
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
4 方法原理 ………………………………………………………………………………………………… 2
5 干扰因素 ………………………………………………………………………………………………… 2
6 仪器设备 ………………………………………………………………………………………………… 4
7 试剂 ……………………………………………………………………………………………………… 6
8 样品 ……………………………………………………………………………………………………… 6
9 测试步骤 ………………………………………………………………………………………………… 7
10 精密度…………………………………………………………………………………………………… 9
11 试验报告………………………………………………………………………………………………… 9
( ) …………………………………………………………………
附录 资料性附录 注入水平的修正
A 10
( ) ……………………………………………………………
附录 资料性附录 注入水平的相关探讨
B
文档评论（0）