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原位退火温度对Mg2Si薄膜结构及方块电阻的影响-低温物理学报.pdfVIP

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  • 2019-09-14 发布于天津
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原位退火温度对Mg2Si薄膜结构及方块电阻的影响-低温物理学报.pdf

    低 温 物 理 学 报 , 　 　 　 　 　 第 卷 第 期 Vol．３９No．５ ３９ ５ 年 月 Oct２０１７ ２０１７ １０ CHINESEJOURNALOFLOW TEMPERATUREPHYSICS 原位退火温度对M Si薄膜结构及方块电阻的影响∗ ２ g , 马新宇１ 陈 茜１† 廖杨芳１２ 肖清泉１ 陈 庆１ 姚紫祎１ 谢 泉１ 　　 　 　　 　　 　　 　 　　

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