卖铲的溢价逻辑二巅峰之战--半导体芯片皇冠上的明珠光刻机.pdfVIP

卖铲的溢价逻辑二：巅峰之战--半导体芯片皇冠上的明珠光刻机 中国芯—中国梦，芯片产业是先进制造业的核心。中国已经提出了中国制造2025 战略 规划，在中国制造的支持下芯片产业有望延续这几年的高速增长，反过来芯片产业又会增强 中国制造的竞争力，两者的互相促进实现良性循环。 芯片制造中最关键的部分-晶圆光刻被荷兰 ASML 公司独家垄断。目前国内绝大多数的 普通光刻机为LCD 光刻机和LED 晶圆光刻机。大族激光、中电45 所、三安光电等大型企业 已具备生产能力。深紫外光刻机为制造线宽20-100nm 的高端光刻机，2016 年由中科院和上 海微电子掌握。而极紫外光刻机仍然由荷兰ASML 公司独家垄断，已具备 7nm-10nm 极紫外 光刻机的量产能力；中科院和上海微电子在技术上获得突破，但未掌握制备能力。 中国已经具备生产深紫外光刻机技术且形成产业化。我国研发的深紫外光刻机将具有 机器小巧、控制方便，和成本低等优势。荷兰ASML 为标杆的深紫外光刻机具备的光刻精度 为20-100nm，我国将在近期研发出20-100nm 的深紫外光刻机，并能覆盖22-100nm 的全部 节点。 我国将在两年内拥有深紫外光刻机产业化能力。物镜和光源技术方面，我国的技术均 处于世界一流水平。原子薄膜理论反射极限也已达到65%，距离70%的临