大型超精密机床导轨卸荷系统结构设计与测试-光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ９ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．９ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ９ Ｓｅ．２００７ 　 　 　　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０９１３８３０８ 　 大型超精密机床导轨卸荷系统结构设计与测试 张景和，张顺国，赵海潇，何远新，董 申 　 （哈尔滨工业大学 机电工程学院精密工程研究所，黑龙江 哈尔滨 １５０００１） 摘要：设计制造了一种新型的，适用于大型超精密机床的导轨卸荷系统。分析了卸荷系统中弹簧数量对卸荷系统性能的 影响，并设计了连接卸荷浮板与导轨负荷的卸荷弹簧机构用于精确调整卸荷量的大小，并测试了卸荷弹簧的刚度。设计 了卸荷浮板结构并对其在不同供气压力下的气膜厚度、气膜刚度与承载能力进行了计算，设计并校核了卸荷梁。用单尺 反转法，测试了卸荷系统作用下的主导轨直线度精度，当卸荷量为 时，主导轨直线度为 ／ ；在卸 １２００ｋｇ ０．３７５ ｍ ６００ｍｍ μ 荷系统作用下，该机床加工出了 的铝件，表面粗糙度 达到了 。实验结果表明，本文设计的卸荷系统 １０００ｍｍ 犚犪 １２ｎｍ 机构，能够保证超精密机床主导轨达到高精度的直线度要求。 关 键 词：超精密机床；卸荷系统；结构设计；直线度测量 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ７０３ Ａ 　　 犛狋狉狌犮狋狌狉犲犱犲狊犻狀犪狀犱狋犲狊狋犳狅狉狌犻犱犲狌狀犾狅犪犱犻狀 狊狊狋犲犿狅犳 犵 犵 犵狔 犾犪狉犲狌犾狋狉犪狉犲犮犻狊犻狅狀犿犪犮犺犻狀犲 犵 狆 ， ， ， ， ＺＨＡＮＧＪｉｎｈｅＺＨＡＮＧＳｈｕｎｕｏ ＺＨＡＯＨａｉｘｉａｏ ＨＥＹｕａｎｘｉｎ ＤＯＮＧＳｈｅｎ ｇ ｇ （ ， ， 犆犲狀狋犲狉 狅狉犘狉犲犮犻狊犻狅狀犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犛犮犺狅狅犾狅 犕犲犮犺犪狋狉狅狀犻犮犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犳 犵 犵 犳 犵 犵