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第七章 电子能谱Electron Spectroscopy (ES) 第七章 电子能谱 一、电子能谱的产生和发展 ●电子能谱学是1960年代迅速发展的新兴学科。 ●研究固体表面的物理与化学性质(如对光的反射与吸收、热电子与光电子发射、热辐射、腐蚀、吸附、催化、电极反应、粘接等等),对物质的表面及形貌进行定性、定量及结构分析的新方法。 第七章 电子能谱 ●1958年5月,瑞典Uppsala大学的(Kai Siegbahn)等发文,发现因Cu→CuO,使Cu的K层电子产生+(4.4±0.5)eV能量的位移。 ●继续研究发现周期表上的大量元素普遍存在这种化学位移现象,并对实验结果进行了系统的理论解释。 第七章 电子能谱 ●1967年和1969年瑟巴等编写出版了《化学分析用电子能谱》著作,系统阐述了X-射线光电子能谱(XPS)的原理、技术及应用。 ●1970年Turner编写了紫外光电子能谱(UPS)的著作。 第七章 电子能谱 ●1977年英国的D·Briggs编著出版了《X-射线与紫外光电子能谱手册》,1983年桂琳琳等将该书译成中文。 ●为表彰在发展ESCA方面的杰出贡献,瑞典皇家科学院将1981年度诺贝尔物理学奖授予了创始人Kai Siegbahn教授。 第七章 电子能谱 ●电子能谱的另一重要分支是俄歇电子能谱。 ● 1923~1926年,法国物理学家Auger研究被X-射线电离的惰性气体在Wilson云室内的光电效应时,发现了双径迹现象。由此产生了“俄歇效应”,把俄歇效应时发射的电子称俄歇电子。用其特性进行表面分析的方法称俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy,简称AES)。 第七章 电子能谱 二、电子能谱(ES)的过程及种类 ●ES法的实质是:分子或原子吸收一个光子或电子而重新发射一个新电子的过程。光子激发发射的电子称光电子,也属于光电效应。 ● ES法是研究物质表面的物理及化学性质,进行表面及形貌分析的分析方法。 第七章 电子能谱 ●电子能谱与X射线分析法的区别: ★X-射线照射物质后产生的是新的X-射线光量子,如X-荧光、X-射线的散射及衍射。发射的仍旧是光量子。它仍旧属于光学分析范畴。 ★电子能谱则是产生电子-光电子。它已经不属于光学分析的范畴了。 第七章 电子能谱 ● 1. ES法的分析过程: 光电子能谱分析法的实质是能量色散。 ●光电子能谱图:以电子动能(Ek/eV)或电子结合能(Eb/eV)为横坐标,以具有相同能量电子的数目(用相对强度/脉冲数·s-1)为纵坐标。 第七章 电子能谱 ●2. 电子能谱( Electron Spectroscopy for Chemical Analysis 简称 ESCA)的分类 (1)光电子能谱:(Photoelectron Spectro -scopy简称PES): ★ X-光电子能谱(XPS) 以X射线作为激发光源,引起内层电子发射产生的电子能谱(光电子能量50~1KeV) 。 第七章 电子能谱 ★ UV-光电子能谱(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy,简称UPS) 以UV光作为激发光源,引起外层价电子发射产生的电子能谱(光电子能量6~ 50eV)。 第七章 电子能谱 (2)俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy 简称AES): 它是由X射线或电子束作为激发源, 使物质原子产生一种特殊的二次电子(称Auger电子), 通过测量这类电子的能量分布,得到的电子能谱。 第七章 电子能谱 ●俄歇电子能谱通常制成扫描俄歇微探针(Scanning Auger Microprobe)使用,简称SAM。 ●电子能谱图上将会记录这些不同能量的光电子,形成系列光电子谱峰用于分析。 第七章 电子能谱 ●电子能谱图示例1 :Ag的光电子全扫描宽谱图 第七章 电子能谱 电子能谱图示例2(高分辨谱图,称窄谱图): 第七章 电子能谱 电子能谱图示例3(窄谱图): 第七章 电子能谱 三、电子能谱的电离方式 1.光电离 (1) 光电离的特点 ●光电离为直接电离。直接电离的光电离,与一般光子的吸收与发射不同。光子的吸收与发射需要遵守光谱选律,而光电离却可以使任何轨道上的电子被激发电离,只是光电离的概率(与光电离截面有关)有大小之分。 第七章 电子能谱 ●光电离中,重要的禁阻过程是双电子过程。一个光子只能电离出1个电子,而1个电子被电离的同时,使另一个电子被激发,或者同时再电离出另一个电子,此为双电子过程。 双电子过程概率远远小于单电子过程。 第七章 电子能谱 (2)光电离截面 ●在带电或不带电粒子入射样品时,使原子内原来占有电子的壳层中产
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