Q_TRS 001-2019太阳能级硅烷气.pdf

Q/TRS 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 企 业 标 准 Q/ TRS 00 1-20 19 太阳能级硅烷气 201 9-07- 15 发布 201 9-07- 15 实施 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 发布 Q/TRS 001-2019 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009的规定编写。 本标准由陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司起草。 本标准主要起草人：张玉泉，刘强强，鱼海斌，李朋飞，张艳玲。 本标准首次发布。 Q/TRS 001-2019 太阳能级硅烷气 1 范围 本标准规定了太阳能级硅烷气的产品要求、检验方法、标志、包装、运输、储存的要求。 本标准适用于陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司以冶金级硅粉为主要原料，经冷氢化工艺生产的太 阳能级硅烷气。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改 单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使 用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 5832.1 气体湿度的测定 第 1 部分:电解法 GB/T 11416.1 电子级水 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 26571 特种气体储存期规范 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 危险化学品安全管理条 例特种设备安全监察条例 3 要求 太阳能级硅烷气的质量应当符合表I的技术要求 表1 技术指标 项目 指标值 硅烷纯度 ≥ 99.9999 % N2 0.50 ppmv O /Ar 0.06 ppmv 2 H O 0.50 ppmv 2 CH4 0.04 ppmv C H , C H , C H 0.10 ppmv 2 6 3 8 4 10 CO 0.10 ppmv CO2 0.10 ppmv H2