超微细研磨技术在奈米科技上之应用-广融.pdf

超微細研磨技術在奈米科技上之應用 作者：Dr. Norbert Stehr 譯者：陳仁英 現職：德國DRAIS 分散研磨部門總經理 現職：廣融貿易有限公司專案經理 傳統型之研磨機因受限於研磨室內之熱交換只靠研磨室表面之熱夾套層來做熱交換， 因此當研磨室之大小從實驗型放大到量產型時，熱交換面積之放大比例因無法與研磨室體 積之放大比例均一，導致無法將實驗型研磨機所得到之結果等比例地放大到量產型之機 台。同時，對於對溫度較敏感或奈米級材料之應用，往往因熱交換面積無法隨研磨室之體 積等比例放大，導致其量產型研磨機之產能無法等比例放大，甚至品質因研磨室內所承受 之動力密度不夠而無法達到要求。本文所介紹之新一代雙缸型設計之研磨機則將研磨室之 體積縮小，並增加熱交換面積且使其與研磨室之體積成固定比例，如此不管研磨室之體積 大小為何，其熱交換面積與研磨室大小成固定比例，可使單位研磨室體積之動力密度不受 研磨室大小之影響，達到實驗型研磨機之研發結果與量產型研磨機在同一品質下之產能等 比例放大之目的，同時對於較難分散研磨或對溫度較敏感之應用及奈米級材料之分散研磨 皆能運用無礙。 關鍵詞：傳統型研磨機(Conventional full space agitation mills) 、放大(Scale-up) 、奈米級 材料(Nano-size material) 、動力密度(Power density) 、新一代雙缸型設計之研磨 機(Double cylindrical annular gap mills) 引言 隨著 3C 產品之輕、薄、短小化及奈米尺度材料應用之白熱化，如何將超微細研磨技 術應用於奈米材料之製作及分散研磨已成為當下之重要課題。傳統產業所需之染料、塗料 及油墨之產品粒徑需求只到微米級，所需之分散研磨技術門檻較低，同時因為該產品之單 價較低，所以研發較不受到重視。但目前國內上述大部分之傳統產業業者已逐漸將其產品 從傳統之微米級尺寸產品應用領域轉型到高科技所需之之奈米級尺寸產品所需之材料，如 薄膜型液晶顯示器（TFT LCD ）所需之彩色光阻（color resist ）、印表機所需之噴墨（jet inks ）、被動元件、光電產業及生化產業所需之奈米級材料等，因上述高科技所需之奈米 級尺寸之材料單價較高，每公斤約為數千到數萬元，且不同產品或廠家所需之規格亦不 同，所以研發便成為產業轉型之重要課題。 但由於傳統型設計之單缸型研磨機受限於熱交換只來自於研磨室表面之熱夾套層，故 對於不同研磨室體積之研磨機之產能無法滿足線性放大之需求。相反地，本文所介紹之新 一代雙缸型設計之研磨機則將研磨室之體積縮小，並增加熱交換面積且使其與研磨室之體 積成固定比例，如此不管研磨室之體積大小為何，其熱交換面積與研磨室大小成固定比 例，可使單位研磨室體積之動力密度不受研磨室大小之影響，達到實驗型研磨機之研發結 果與量產型研磨機在同一品質下之產能等比例放大之目的，同時對於較難分散研磨或對溫 度較敏感之應用及奈米級材料之分散研磨皆能運用無礙，本文將詳細地對上述之論點做一 報告並以實例來說明之。 1 1. 輸入比能量(Mass specific energy input)與動力密度(power density)之定義 1.1 輸入之比能量： 一般而言，研磨機之研磨或分散效果為比能量之函數，即 研磨之品質 = f (比能量) [1] 當以連續式操作方式(throughfeed operation mode)而言，比能量之計算方式為單位 重量之漿料於經過研磨室分散研磨時每小時所受到之有效消耗動力，即 P - P kWh Em,Pass = • 0   [2]  t 