DB52_T_904-2014粒状硫酸铵（完整）.docVIP

ICS 71.060.50 G 12 DB52 贵 州 省 地 方 标 准 DB52/T 904—2014 电子级三氯氧磷 Electronic grade phosphorus oxychloride 2014 - 06 - 09 发布 2014 - 07 - 09 实施 贵州省质量技术监督局 发 布 DB52/T 904—2014 目 次 前言 ................................................................................ II 1 范围 .............................................................................. 1 2 规范性引用文件 .................................................................... 1 3 分子式、相对分子质量及分类 ........................................................ 1 4 要求 .............................................................................. 1 5 试验方法 .......................................................................... 2 6 检验规则 .......................................................................... 6 7 包装、标志、运输和贮存 ............................................................ 6 附录 A（资料性附录） 处理废液的方法.................................................. 7 I DB52/T 904—2014 前 言 本标准按照 GB/T 1.1-2009《标准化指导原则 第 1 部分：标准的结果和编写》给出的规则起草。 请注意：本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由贵州威顿晶磷电子材料有限公司提出。 本标准由贵州省质量技术监督局归口。 本标准起草单位：贵州威顿晶磷电子材料有限公司、贵州省产品质量监督检验院、贵阳精一科技有 限公司。 本标准主要起草人：蒋飚、钟宏波、祝飘、冯永渝、陈文强、黄春银 、刘涛、向东、龚宁、 贺思全、陈泉、舒晓骥、周大颖、张建刚、程化鹏。 II DB52/T 904—2014 电子级三氯氧磷 1 范围 本标准规定了电子级三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签，包装、运输、贮 存和安全。 本标准适用于电子级三氯氧磷。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超 大规模集成电路芯片的扩散源等。 本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及适用范围的建 立。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数字的表示和判定 GB/T 11446.1 电子级水 GB 50472 电子工业洁净厂房设计规范 HG/T 3606—2009 工业用三氯氧磷 3 分子式、相对分子质量及分类 分子式：POCl3 相对分子质量：153.33（按 2011 年国际相对原子质量） 分类：电子级三氯氧磷分为两种规格： 6N 级：纯度（基于金属杂质）≥99.999 9%，主要用于太阳能光伏电池扩散源； 7N 级：纯度（基于金属杂质）≥99.999 99%，主要用于大规模集成电路（IC）、分离器件扩散源。 4 要求 4.1 外观：无色透明液体。 4.2 电子级三氯氧磷应符合表 1 要求。 1 DB52/T 904—2014 表1 要求 检验项目 6N级 7N级 三氯氧磷（POCl3）含量 ≥ 99.9% 99.9% 纯度（基于金属杂质） ≥ 99.999 9% 99.999 99% 铝（Al）/（μ