控制软件操作(扩散炉带机械手).docVIP

DS-300A扩散炉控制软件操作 一、系统设置 1. 系统设置 画面 2. 各部分功能 2.01 温控方式设置 2.01.01 根据温控表类型，若是山武的温控表，则选择“SDC串级控制”；若是RKC HA900的温控表，则选择“HA900串级控制”。安装机器时设定 2.01.02 若勾选【启用工艺运行升降温斜率跟踪】，则在勾选此项之后的时间内，可生成温度随时间向设定温度变化的曲线 2.01.03 因扩散炉正常使用时所使用的温度在800~1050 oC，则在“最大温度设置”中设置1100。安装机器时设定 2.02 流量设置1 2.02.01 【大氮流量计初始化】 将大氮流量计信号初始化。在和流量计连接均正常的时候，点击此按钮，则无论是哪个流量计，均将此流量计的通讯地址初始化为大氮流量计。流量计通讯紊乱时使用 2.02.02 【小氮流量计初始化】 参照上述【大氮流量计初始化】。流量计通讯紊乱时使用 2.02.03 【小氧流量计初始化】 参照上述【大氮流量计初始化】。流量计通讯紊乱时使用 2.02.04 注意事项 2.02.04.01 在N（N=3）个流量计的电源线和通讯线均未断开的情况下，错误点击某个流量计（M流量计）初始化按钮，则将此N个流量计均初始化为M流量计 2.02.04.02 点击工控机上的流量计初始化按钮时只能有其对应的流量计的通讯线接上。当流量计通讯紊乱时，需要将流量计初始化时，先将所有的流量计断电，并将通讯线断开，然后将所有流量计上电，待流量计预热完成（依次亮灯：红-黄-红-黄），然后将某个流量计的通讯线接上，点击工控机上对应的流量计初始化，接着拆掉此流量计的通讯线，接另外一个流量计的通讯线，并点击其对应的流量计初始化按钮，依次类推。当各个流量计分别初始化通讯正常后再将所有流量计的通讯线接上。 2.03 舟位置设置 2.03.01 【舟平移起点】 设置推舟的平移原点位置。当推舟处于平移原点位置时，炉口传感器不能检测到有舟（即PLC的X31始终显示有信号输入）。设置“0”。调软着陆时设定 2.03.02 【舟平移终点】 在浆上有石英舟的情况下，当浆进入炉管，且电极头能和石英舟的电极孔接触良好（电极头插入电极孔最长距离）时，推舟距离平移原点的位置。设置在“2060”左右（当浆的安装位置和平移原点位置不同时有偏差）。调软着陆时设定 2.03.03 【舟上升位置】 在浆上有石英舟，且浆能正常进入炉管时，此时推舟距离上下原点的位置。设置在“25”左右（在定位和安装炉管时不能确保所有机器一致，因此会存在偏差）。调软着陆时设定 2.03.04 【舟下降位置】 设置推舟的上下原点位置。设置“0”~“0.2”。 调软着陆时设定 2.03.05 【实际舟后位置判断】 在所设置位置上下偏差30mm的范围，如果炉口传感器没有检测到浆上有舟，则认为浆上舟状态有误，禁止继续运动（出片出浆和进片进浆时，认为有拖舟状况） 2.03.06 【复位平移原点】 点击此按钮，则推舟以300的速度从靠近炉口向工控机方向运行，当到达原点光电开关时，停止运动 2.03.07 【复位上下原点】 点击此按钮，则推舟以50的速度从上往下运行，当到达下限位光电开关时，停止运动 2.03.05 注意事项 2.03.05.01 调软着陆时，可以将平移马达和推舟断开，手动将石英舟推入炉管，并同时调节平移行程。 2.03.05.02 【复位平移原点】和【复位上下原点】时，若原点光电开关损坏，则推舟会一直运行，因此，必须将机械限位的限位块安装好。禁止推舟撞到机械限位时电机继续长时间运转，因为长时间运行会导致损坏电机 2.04 报警设置 2.04.01 【流量偏差报警】 设定百分比数值N，和流量延时报警配合起作用。当要求的流量和流量计检测到的实际流量的差值超过设定的N，则会出现报警。设置“5”。 2.04.02 【源量使用次数报警】 设定数值N，自动累积的磷源使用次数达到设定值N时，在 手动操作 的黄灯报警中出现【源瓶工艺过次数（提示）】报警。每次工艺结束，则系统自动将石英管使用次数和磷源使用次数自动加“1” 2.04.03 【炉管使用次数报警】 参照【源量使用次数报警】 2.04.04 【平衡压力偏差】 检测到的炉管内的压力和所设定的压力之间的偏差值不能超过设定的此数值 2.04.05 注意事项 2.04.05.01 当流量偏差报警设置“0”时，默认为关闭“流量偏差报警”，此时，无论要求的流量和流量计检测到的实际流量偏差多大，均无流量偏差报警 2.05 舟初始运动 2.0