原子力显微镜分析软件XEI安装包及原子力显微镜AFM操作过程图文版及视频版.doc

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文章最后附有百度云网盘链接地址及提取码: 内含:原子力显微镜数据处理软件XEI的安装包;新版park原子力显微镜软件的操作视频;操作word图文版 原子力显微镜操作过程 1.开电源插排; 2.打开电脑和两个显示器; 3.打开SPM控制器(SPM Controller); 4.打开SmartScan软件; 5.调整XY光学镜(如图2最上面两个螺栓),并结合点击图3中Focus Stage调节光学焦距,找到探头。在X-Y Stage显示器上显示出探针(如图1); 图1 ④旋转这两个螺栓,调整反射激光,使之垂直照射在PSPD上。旋转这两个螺栓,调整激光束的XY向,使之垂直照射在悬梁的探针上。激光束开关X-Y向移动光学显微镜③②① ④ 旋转这两个螺栓,调整反射激光,使之垂直照射在PSPD上。 旋转这两个螺栓,调整激光束的XY向,使之垂直照射在悬梁的探针上。 激光束开关 X-Y向移动光学显微镜 ③ ② ① 光学聚焦移动 光学聚焦移动 图3 图3 Z Z Scanner移动 图3 6.打开激光光源,调整图2中中间两旋钮,调整束的XY向,使之垂直照射在悬梁的探针前端,且保障激光强度Intensity在3V左右; 7.调整反射镜,通过旋转图2最下端两个旋钮,使Monitor Box窗口中的红点变成绿色(图3左侧)落在PSPD中心,并且使A+B约3V,A-B<500mV,C-D<500mV; 8.将样品水平移动至探针下方,即显微镜发出的白色主动光下方; 9.激光定位和样品放好后,点击Setup图标。在Part Config界面中核实或选择正确探针型号。选择测试模式位NCM模式; 图4 图5 10. 等待系统自动完成探针Frequency sweep, 如图5获得正确探针共振频率和振幅以及设定点值; 11.尝试调整样品位置,手动控制Z Stage下降(非必要),确保探针能够落在样品上(在样品为小样品时需要特别注意),点击Approach按钮完成探针自动逼近; 12.点击Lift按钮,将Z Scanner提升50um,使用Focus Stage对样品表面进行聚焦,样品表面聚焦完成后通过操作XY Stage移动样品位置,选择扫描测试区域; 13.在图5 NCM Frequency Sweep界面点击Refresh按钮,刷新探针共振频率,点击Approach按钮完成系统自动探针逼近; 14.为提升Z Height信号通道样品表面轮廓曲线的吻合成都;尝试使用Lift按钮提升Z Scanner 10um, 在NCM Frequency Sweep界面修改合适探针振幅,点击Approach完成逼近;然后通过修改Scan Rate/Scan Rate/Setpoint等参数进一步 15.扫描控制窗口(Scan Control)的说明 :调整XY的扫描方向,包括X或Y向的“fast scan”; Scan Rate:扫描速度 Slope:通过软件纠正扫描表面的倾斜度; Scan OFF:停止XY扫描器的移动但是同时保持Z轴扫描器的反馈; Scan area:设定扫描像素点数和扫描范围图像尺寸; Offset XY:通过扫描器调整XY轴扫描器的中心位置偏移量; Rotation:任意角度旋转扫描方向; Z Servo:调整Setpoint和Z Gain等参数; Z Gain:Z伺服系统反馈增益; Set Point:接触模式下,显示探针上的接触压力;非接触模式下,显示探针逼近样品时候的工作振幅; Bias:调整探针和样品试加的偏压 图4Tip Bias:探针上外加电压; 图4 Sample Bias:样品上外加电压; 16.在Channel Config中,通过Falttten功能选择一阶实时线平整,使线的轨迹在X轴或Y(取决于设定的主扫描方向)轴上成水平,然后按下image按钮开始测量; 图6 17.在完成测试前,于File界面完成测试结果存储路径设定和文件名设定; 18.使用XEI程序,分析图像。 19.测试完成后完,通过Z Stage界面Lift Z All 按钮或界面右侧End按钮抬升探针,关闭激光光源; 20.关闭Smart Scan软件; 21.关闭SPM电控柜; 22.关闭电脑;关闭电源插排; 更换探针步骤 1.关掉激光光源; 右移取下2.取下NX前端工作台; 右移取下 3.取下旧针尖,将新针尖小心的 装在基台上,使探针朝外,操作 时,避免碰到探针。 4.安装NX前端工作台; 5.锁紧工作台; 刚性数据接口通过打开楔形燕尾锁,NX最前端部分能够很容易

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叮叮当
该用户很懒,什么也没介绍

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