原子力显微镜分析软件XEI安装包及原子力显微镜AFM操作过程图文版及视频版.doc

文章最后附有百度云网盘链接地址及提取码： 内含：原子力显微镜数据处理软件XEI的安装包；新版park原子力显微镜软件的操作视频；操作word图文版 原子力显微镜操作过程 1.开电源插排； 2.打开电脑和两个显示器； 3.打开SPM控制器（SPM Controller）； 4.打开SmartScan软件； 5.调整XY光学镜（如图2最上面两个螺栓），并结合点击图3中Focus Stage调节光学焦距，找到探头。在X-Y Stage显示器上显示出探针（如图1）； 图1 ④旋转这两个螺栓，调整反射激光，使之垂直照射在PSPD上。旋转这两个螺栓，调整激光束的XY向，使之垂直照射在悬梁的探针上。激光束开关X-Y向移动光学显微镜③②① ④ 旋转这两个螺栓，调整反射激光，使之垂直照射在PSPD上。 旋转这两个螺栓，调整激光束的XY向，使之垂直照射在悬梁的探针上。 激光束开关 X-Y向移动光学显微镜 ③ ② ① 光学聚焦移动 光学聚焦移动 图3 图3 Z Z Scanner移动 图3 6.打开激光光源，调整图2中中间两旋钮，调整束的XY向，使之垂直照射在悬梁的探针前端，且保障激光强度Intensity在3V左右； 7.调整反射镜，通过旋转图2最下端两个旋钮，使Monitor Box窗口中的红点变成绿色（图3左侧）落在PSPD中心，并且使A+B约3V，A-B<500mV，C-D<500mV； 8.将样品水平移动至探针下方，即显微镜发出的白色主动光下方； 9.激光定位和样品放好后，点击Setup图标。在Part Config界面中核实或选择正确探针型号。选择测试模式位NCM模式； 图4 图5 10. 等待系统自动完成探针Frequency sweep, 如图5获得正确探针共振频率和振幅以及设定点值； 11.尝试调整样品位置，手动控制Z Stage下降（非必要），确保探针能够落在样品上（在样品为小样品时需要特别注意），点击Approach按钮完成探针自动逼近； 12.点击Lift按钮，将Z Scanner提升50um，使用Focus Stage对样品表面进行聚焦，样品表面聚焦完成后通过操作XY Stage移动样品位置，选择扫描测试区域； 13.在图5 NCM Frequency Sweep界面点击Refresh按钮，刷新探针共振频率，点击Approach按钮完成系统自动探针逼近； 14.为提升Z Height信号通道样品表面轮廓曲线的吻合成都；尝试使用Lift按钮提升Z Scanner 10um, 在NCM Frequency Sweep界面修改合适探针振幅，点击Approach完成逼近；然后通过修改Scan Rate/Scan Rate/Setpoint等参数进一步 15.扫描控制窗口（Scan Control）的说明 ：调整XY的扫描方向，包括X或Y向的“fast scan”； Scan Rate：扫描速度 Slope：通过软件纠正扫描表面的倾斜度； Scan OFF：停止XY扫描器的移动但是同时保持Z轴扫描器的反馈； Scan area：设定扫描像素点数和扫描范围图像尺寸； Offset XY：通过扫描器调整XY轴扫描器的中心位置偏移量； Rotation：任意角度旋转扫描方向； Z Servo：调整Setpoint和Z Gain等参数； Z Gain：Z伺服系统反馈增益； Set Point：接触模式下，显示探针上的接触压力；非接触模式下，显示探针逼近样品时候的工作振幅； Bias：调整探针和样品试加的偏压 图4Tip Bias：探针上外加电压； 图4 Sample Bias：样品上外加电压； 16.在Channel Config中，通过Falttten功能选择一阶实时线平整，使线的轨迹在X轴或Y（取决于设定的主扫描方向）轴上成水平，然后按下image按钮开始测量； 图6 17.在完成测试前，于File界面完成测试结果存储路径设定和文件名设定； 18.使用XEI程序，分析图像。 19.测试完成后完，通过Z Stage界面Lift Z All 按钮或界面右侧End按钮抬升探针，关闭激光光源； 20.关闭Smart Scan软件； 21.关闭SPM电控柜； 22.关闭电脑；关闭电源插排； 更换探针步骤 1.关掉激光光源； 右移取下2.取下NX前端工作台； 右移取下 3.取下旧针尖，将新针尖小心的 装在基台上，使探针朝外，操作 时，避免碰到探针。 4.安装NX前端工作台； 5.锁紧工作台； 刚性数据接口通过打开楔形燕尾锁，NX最前端部分能够很容易