GB/T 34894-2017微机电系统(MEMS)技术　基于光学干涉的MEMS微结构　应变梯度测量方法.pdf

ICS31.200 L55 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT34894 2017 微机电系统( )技术 MEMS 基于光学干涉的MEMS微结构 应变梯度测量方法 — Micro-electromechanicalsstemtechnolo Measurin method y gy g forstrain radientmeasurementsofMEMSmicrostructures g usin anoticalinterferometer g p 2017-11-01发布 2018-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT34894 2017 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 测量方法 ………………………………………………………………………………………………… 1 5 影响测量不确定度的主要因素 ………………………………………………………………………… 6 ( ) ………………………………… 附录 资料性附录 光学干涉显微镜的典型形式和主要技术特点 A 7 Ⅰ / — GBT34894 2017 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(