单晶硅废气处理工艺.docVIP

XXXXX科技有限公司废气处理工程设计方案 PAGE 6 PAGE 1 执行单位：温州市XXXX科技有限公司 XXXXX科技有限公司 废气处理工程设计方案 温州市XXXX科技有限公司 北京XXXX上海院 2007年6月 目 录 TOC \o 1-2 \h \z 1．总论 2 2. 废气处理工艺设计方案 4 3. 主要设备一览表 5 4.运行费用分析 5 5.投资估算 6  1．总论 1.1 工程概况 1.1.1 工程名称及建设单位 工程名称：XXXXX科技有限公司废气处理工程 建设单位：XXXXX科技有限公司 1.1.2项目来源 XXXXX科技有限公司（下简称金西公司）是我国太阳能光伏电池片的重点生产企业，公司现位于XX县城区，根据XX县城市发展规划，企业必须整体搬迁。为此公司投资13200万元，在XX工业园区，（二期）即茶场片区征地，新建厂房及辅助用房，购置国际先进的太阳能电池制造设备、多线切割机、硅单晶炉、切片机、切方机等先进设备，形成年产25兆瓦太阳能光伏电池的生产能力。该项目为新建项目，项目投产后，生产加工过程中有一定量的酸洗及清洗废水，根据新建项目执行“三同时”法规要求，废水排放前需达到污水国家综合排放一级标准。企业领导对此非常重视，决定在厂房设计建设同时，与之配套的环保设施也同时建设，并采取科学、合理、规范的环保工艺对排放的废气进行处理，达到良好的社会、经济效益和环境效益。受主主委托，现将处理方案编制如下，供业主方及各主管部门评审。 1.1.3废气产生情况 本项目工艺流程为： 抽真空加热装炉烘干清洗腐蚀多晶硅 抽真空加热 装炉 烘干 清洗 腐蚀 多晶硅 废气 拉晶切头尾切方滚磨 后续工艺***** 拉晶 切头尾 切方 滚磨 工艺废气中的HF、HNO3等执行《大气污染综合排放标准》（GB16297-1996）的二级排放标准即： 排放标准 项目 排放浓度（mg/m3） 二级排放速率限值 HF 9.0 20ug/ m3 氮氧化物 240 0.12mg/ m3 1.1.6 主要污染因子理化性质： 1）硝酸： 分子式HNO3，分子量 63.01，纯品为无色透明发烟液体，有酸味。熔点-42℃/无水，沸点86℃/无水，与水混溶，相对密度（水=1）1.50（无水）。 硝酸属高毒类，其蒸汽有刺激作用，引起粘膜和上呼吸道的刺激症状，如流泪、咽喉刺激感、呛咳、并伴有头痛、头晕、胸闷等。长期接触可引起牙齿酸蚀症，皮肤接触引起灼伤。 硝酸具有强氧化性，与易燃物（如苯）和有机物（如糖，纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与碱金属能发生剧烈反应。具有强腐蚀性。 2）氢氟酸 分子式HF，分子量20.01，无色透明有刺激性臭味的液体，商品为40%的水溶液。熔点-83.1℃（纯），沸点120℃（35.3%），与水混溶，相对密度（水=1）1.26(75%)。 氢氟酸急性毒性为LC501276ppm（1小时，大鼠吸入）。对皮肤有强烈的腐蚀作用，能穿透皮肤向深层渗透，形成坏死和溃疡，且不易治愈。眼接触高浓度氢氟酸可引起角膜穿孔。接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。长期接触可发生呼吸道慢性炎症，引起牙周炎，氟骨病。 氢氟酸腐蚀性极强，遇H发泡剂立即燃烧。能与普通金属发生反应，放出氢气而与空气形成爆炸性混合物。 1.2 设计范围 设计范围为：自废气收集系统至废气高空排放系统间所涉及范围内的土建工程、机械设备工程、电气和仪控制工程、管线与安装工程等。 1.3 设计指导思想 认真贯彻执行国家关于环境保护工作的方针、政策，使方案设计符合国家有关法规规范和标准。 废气排放情况及排放要求，力求选用技术先进，稳妥可靠，处理效率高，维修管理简便，占地面积小，投资少，运行费用低的处理工艺。 1.4 设计依据 （1）《中华人民共和国环境保护法》1989.10.26 （2）《中华人民共和国大气污染防治法》1987.9.5 （3）《浙江省大气污染防治条例》2003.9.1； （4）《大气污染综合排放标准》（GB16297-1996） （5）《车间空气HF卫生标准》（GB 16231—1996） （6）《年产25兆瓦太阳能光伏电池技改项目》环境影响报告书； （7）同类废废气处理工程的设计、施工及运行资料。 2. 废气处理工艺设计方案 2.1 废气处理工艺流程 废气收集系统