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蓬勃发展中的磁性薄膜材料 Magnetic Films Materials in Grow Vigorously 余声明 （中国西南应用磁学研究所 四川绵阳105信箱 621000） 摘 要：本文论述了磁性薄膜材料的基本特点、种类、发展及其应用。 关键词：磁性，薄膜，技术，应用 中图分类号：TM27 文献标识码：A 文章编号：1606-7517（2009）10-5-97 1 前言 磁性材料的薄膜化为满足上述要求提供了可能。如 此，磁性材料的薄膜化是微磁器件的基础，也是将来实现 随着电子系统向高集成度、高复杂性、轻小、高性能、 磁性IC的前提之一。 多功能与高频方向发展，要求在更小的基片上集成更多的 元器件。研制小型化、薄膜化的元器件，以减小系统的整 2 磁性薄膜材料的基本特点与种类 体体积和重量，无疑是