Q_330481xchn002-2019铝板化学机械抛光液.pdf

目 次 前 言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 性状 1 4 规格 1 5 试验方法 1 5.1 一般规定 1 5.2 外观 2 5.3 固含量 2 5.4 pH 值 2 5.5 粒径 3 5.6 粘度 3 5.7 密度 4 6 检验规则 4 7 标志、包装、运输、贮存 5 7.1 标签 5 7.2 包装 5 7.3 运输 5 7.4 贮存 5 Ι 前 言 本企业对本标准的合法性、真实性、准确性、技术合理性和实施后果负责。 本标准参照了我国硅溶胶行业标准HG/T 2521-2008 《工业硅溶胶》。 本标准的编写符合GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则第1 部分：标准的结构和编写》。 本标准由浙江新创纳电子科技有限公司提出并负责起草。 本标准由浙江新创纳电子科技有限公司归口。 本标准主要起草人：刘卫丽、孔慧、邹帆。 Ⅱ 铝板化学机械抛光液 1 范围 本标准规定了铝板化学机械抛光液的规格、试验方法、检验规则、以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于本公司铝板化学机械抛光液的检验。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 4472-2011 化工产品密度、相对密度的测定 GB/T 6680-2003 液体化工产品采样通则（ISO 3170:1988，NEQ） GB/T 6682-2008 分析实验室用水规格和试验方法（ISO 3696:1987，MOD） GB/T 8170-2008 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9724-2007 化学试剂 pH 值测定通则（ISO 6353-1:1982，NEQ） GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定 3 性状 产品为乳白色液体。 4 规格 产品的规格应符合表1 的要求。 表1 产品规格 技术要求 项目 AL-P80 型 AL-02 型 外观 乳白色液体 乳白色液体 固含量，% 39.0~41.0 39.0~41.0 pH 值 （20℃） 10.5~ 11.0 10.0~ 11.0 粒径，nm 70~90 90-110 粘度，mPa.s （25℃） ≤10.0 1-5 密度，g/mL （20℃）