09第六章第四节等离子体表面处理.pptVIP

* * 离子渗氮 辉光离子渗氮简称离子氮化 是一项可以显著提高钢铁零件表面抗磨、耐疲劳和耐腐蚀性的表面处理工艺。离子渗氮是在1932年由德国的B．Benghaus发明的，1967年左右在德国和瑞士开始被实用化，70年代在我国迅速得到发展，至今全国已经有上千台设备。离子渗氮已经取代了传统的气体氮化工艺。 * * 离子渗氮是把被处理的工件放在真空室，抽真空至13.3～1.33Pa，然后充以稀薄的含氮气体如氨、热分解氨或氮氢混合气体，在阴阳极间加上直流高压后，气体被电离而发生辉光放电，放电过程中氮和氢离子在高压电场的作用下，冲向阴极表面，产生大量的热把工件加热到所需的温度，同时氮的离子或原子为工件表面所吸附，并迅速扩散，形成了一定厚度的氮化层。氢离子在工件表面可以起清除氧化膜的作用。 * * 离子渗氮机理 离子渗氮机理有几种模型，但只有阴极溅射模型被较广泛地接受。 在辉光放电中，具有高能量的氮、氢离子轰击作为阴极的工件， 一部分离子直接为表面所吸附，渗入工件; 另一部分通过阴极溅射轰击出电子及铁、氧等原子。溅射出的铁原子与附近的活性氮原子结合，形成FeN，被工件吸收。 * * 离子渗氮机理 FeN受到高温作用和离子的轰击会按照FeN→Fe2N → Fe3N → Fe4N的顺序分解为低价氮化铁，同时析出原子氮。 析出的原子氮会向工件内部渗入。 离子的轰击还可使材料生成晶格缺陷