GB/T 4060-2018硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf

ICS77.040 H 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT4060 2018 代替 / — GBT4060 2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法 Testmethodforboroncontentin olcrstallinesiliconb vacuum p y y y zone-meltin method g 2018-09-17发布 2019-06-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT4060 2018 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 / — 《 》, / — , 本标准代替 GBT4060 2007硅多晶真空区熔基硼检验方法 与 GBT4060 2007相比 除编 辑性修改外主要技术变化如下: ———增加了规范性引用文件 / — 、 / — 、 / — 、 / — GBT620 2011GBT626 2006GBT11446.1 2013GBT25915.1 ( ); 见第 章 2010 2 ——— , “ / ” “ / 修改了方法提要 将 以 的速度区熔提纯 次成晶后 改为 以不高于 1.0mm min 14 1.0mm min ”( , ); 的速度多次区熔提纯后 见第 章 年版的第 章 4 2007 4 ——— “ 、 、 、 、 在干扰因素中增加了 酸洗用的器皿 酸液和去离子水纯度 腐蚀速度 腐蚀温度 样品暴露时 , ”( ); 间都可能带来沾污 应加以控制 见 5.4 ———