传感技术--第六章，压电式传感器.pdf

第6章 压电式传感器 受力、表面形变 电荷 受力、表面形变 电荷 压电器件 压电器件 第6章 压电式传感器 压电式传感器转换原理：压电效应； 压电材料：石英晶体(SiO )和压电陶瓷多晶体； 2 压电敏感元件是力敏元件，典型的双向传感器； 压电式传感器特别适合于动态测量； 主要缺点：无静态输出，输出阻抗高，需前置放大级。 图6 压电效应示意图 §6-1 压电效应和压电材料 §6-1 压电效应和压电材料 一、压电效应 一、压电效应 1、正（顺）压电效应 1、正（顺）压电效应 2、逆压电效应（电致伸缩） 2、逆压电效应（电致伸缩） 二、压电材料简介 二、压电材料简介 压电常数 压电效应强弱：灵敏度 压电常数 压电效应强弱：灵敏度 弹性常数（刚度） 固有频率、动态特性 弹性常数（刚度） 固有频率、动态特性 介电常数 固有电容、频率下限 介电常数 固有电容、频率下限 机电耦合系数 机电转换效率 机电耦合系数 机电转换效率 电阻 泄漏电荷、改善低频特性 电阻 泄漏电荷、改善低频特性 居里点 丧失压电性的温度 居里点 丧失压电性的温度 常用压电材料 常用压电材料 类 别 材 料 成 分 特 性 -12 d =2.31 10 C/N 单晶体、水晶 11 × ， 石英晶体 （人造、天然） SiO2 压电系数稳定，固有频率稳定 2 承受压力700-1000Kg/cm -11 d =190 10 C/N 钛酸钡、锆钛酸 压电系数高 33 × 压电陶瓷 人造多晶体 钡、铌酸盐系 品种多、性能各异 新型压电 压电特性 压电半导体 集成压电传感器 材料 半导体特性 有机高分子 质轻柔软、抗拉强度高、 压电