- 1、本文档共23页,其中可免费阅读9页,需付费99金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
磁控溅射法制备薄膜材料综述
材料化学 张召举
摘 要 薄膜材料的厚度是从纳米级到微米级,具有尺寸效应,在国防、通讯、航空、航天、电子工业等领域有着广泛应用,其有多种制造方法,目前使用较多的是溅射法,其中磁控溅射的应用较为广泛。本文主要介绍了磁控溅射法的原理、特点,以及制备过程中基片温度、溅射功率、溅射气压和溅射时间等工艺条件对所制备薄膜性能的影响。
关键字 磁控溅射;原理;工艺条件;影响
正文
薄膜是指尺度在某个一维方向远远小于其他二维方向,厚度可从纳米级到微米级的材料,由于薄膜的尺度效应,它表现出与块体材料不同的物理性质,有广泛应用。薄膜的制备大
您可能关注的文档
- 大学自我鉴定范文五篇资料.doc
- 小学三年级语文早读积累资料.doc
- 大学生面试常见问题的大全资料.doc
- 大学生入党流程和程序资料.doc
- 小学三年级语文早读积累资料总结.doc
- 工程资料与机械制造基础答案.doc
- 工程总结资料、构配件、设备报验表.doc
- 工程总结资料报审表.doc
- 小学数学教研组工作经验交流资料.doc
- 夫妻协议书范文(离婚协议书)资料.doc
- 幼儿教师资格证(考试资料)《幼儿保健知识与能力》新版初级练习卷有答案与.docx
- (附答案)川农12月《中药化学》作业考核-.docx
- (附答案)川农12月《园林植物保护学(本科)》作业考核-.docx
- (附答案)川农12月《有机化学(专科)》作业考核-.docx
- (附答案)川农12月《植物保护学(本科)》作业考核-.docx
- (附答案)东师《教育心理学》在线作业2-1(1).docx
- (附答案)川农12月《药剂学》作业考核-.docx
- (附答案)川农12月《配方饲料制造工艺与技术(专科)》作业考核-.docx
- 幼儿教师资格证(考试资料)《幼儿保健知识与能力》新版基础知识题库带解析.docx
- 幼儿教师资格证(考试资料)《幼儿保健知识与能力》基础知识模拟押题卷.docx
文档评论(0)