薄膜材料的表征方法培训教材.pptVIP

第六章 薄膜材料的表征方法;第一节 薄膜厚度测量技术;一、薄膜厚度的光学测量方法;2、不透明薄膜厚度测量的等厚干涉条纹（FET）和等色干涉条纹（FECO）法;二、薄膜厚度的机械测量方法;3 石英晶体振荡器法;第二节 薄膜结构的表征方法;一、简 介;二、扫描电子显微镜Scanning Electronic Microscope (SEM);2、背反射电子像;;;三、透射电子显微镜 Transmission Electronic Microscope;2、透射电子显微像衬度形成;;;四、X射线衍射方法;;五、低能电子衍射（LEED）和反射式高能电子衍射（RHEED）;六、扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope-STM）; 对于起伏不大的样品表面，可以控制针尖高度守恒扫描，通过记录隧道电流 的变化亦可得到表面态密度的分布，如图（b）。这种扫描方式的特点是扫描速度 快，能够减少噪音和热漂移对信号的影响，但一般不能用于观察表面起伏大于 1nm的样品。;C60;七、原子力显微镜（AFM）;Solid State Laboratory Department of Electronic Engineering, CUHK;;第三节 薄膜成分的表征方法;一、原子内的电子激发及相应的能量过程;二、X射线能量色散谱（EDX）;三、