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辉光放电光谱法定量分析金属材料表面纳米级薄膜的研究 宝山钢铁股份有限公司研究院 内容 绪论 GDOES定量深度逐层分析方法 精密度实验 准确度实验 应用 结论 绪论 金属材料具有较高的强度和优良的机械加工性能，但其最大缺点是易腐蚀，往往造成巨大损失。许多金属材料防腐性能主要取决于表面的特性和状态，通过表面处理技术可以实现以最低的经济成本来生产优质产品。研究金属材料表面的自然氧化和腐蚀现象，以及各种表面处理的新工艺，如闪镀、钝化等正成为一个重要的课题。金属材料表面所形成的各种纳米级厚度的薄膜和镀层的化学成分和组织结构对材料本身性能有很大的影响，因此需要建立与工艺研究相适应的一种定量分析测试方法。 绪论 各种深度逐层分析方法 俄歇电子能谱(AES) X射线光电子能谱（XPS） 二次离子质谱（SIMS） 辉光放电光谱(GD-OES) GDOES定量深度逐层分析方法 方法建立的依据 分析方法的建立 光源参数的优化 定量逐层分析 GDOES定量深度逐层分析方法 方法建立的依据 考虑到所分析的样品主要为薄至纳米级厚度的氧化膜、钝化膜、镀镍层及镀铬层等。因此建立分析方法时,必须考虑膜和镀层中所含的元素O、P、Ni、Cr、Fe、Mn、T