薄膜沉积的共性问题--第二讲资料教程.pptVIP

牡丹江大学光伏学院教育训练计划 河北东旭投资集团有限公司 2011. 03.01 1 2 等离子体在薄膜沉积中的作用 基本概念 离子、电子共存，整体呈电中性的物质状态 形成方式 电子加速到一定能量，与气体分子碰撞，使其电离或者激发（未被 电离而处于激发状态）。 激发阀值或者离化阀值----能使气体分子激发和电离的电子具有的 最低能量值。（电子能量≥离化阀值） 离化率----引起气体电离的碰撞次数与总碰撞次数的比值。 离化率随电子能量的不同而变化。 碰撞过程中： （a）发生有效地离化； （b）激发气体分子为激发原子、原子团或者分子等，形成活性基， 增加等离子体的活性； （c）被激发原子或者分子经过极短的弛豫时间，返回平衡状态， 同时发出相应的辉光。 3 等离子体的形成方法 形成低温等离子体的基本方法： 使电子带有最容易引起离化和激发的能量，由这种荷能电子碰撞气体原子，使其离化或激发，同时要求产生的等离子体具有较高的密度、均匀的分布、便于利用的形式以及良好的可控制性。 4 等离子体的形成方式 热电子发射型 二极放电型 磁控放电型 无极放电型 ECR放电型 由热阴极发射的电子被阳极加速，在奔向阳极的过程中与气体分子发生碰撞，使后者离化或者激发，形成等离子体。 工作气压在100Pa-0.01