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激光干涉仪对光操作指南 6.1 使用前的工作 6.1.1 为什么要对光？ 对光的目的是为了让检测的光线能准确返回激光干涉仪上，让激光干涉仪得到最强的反馈信息，以便计算实际的行程数值。 6.1.2 影像线性测量精度的因素包括哪些？ 死程误差 死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，这时已采用 EC10 自动补偿功能。 在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。 路径 L2 的激光测量死程误差与两个光学元件间的距离有关，此时系统定标为 L1，请参阅图 1。若干涉镜及反射镜之间没有动作，且激光束四周的环境状况有所改变，整个路径(LI + L2)的波长（空气中）都会改变，但激光测量系统只会对 L2 距离进行补偿。 因此，死程测量误差会由于光束路径 L1 没有获得补偿而产生。 图 1 - 死程误差 不过，若当设定定标时固定和移动镜组彼此邻接，死程误差就可忽略不计。如下图 2 所示。 图 2 - 死程误差可不计时的正确设置 如果可能，定标激光器时使镜组互相靠近。 若定标激光器时镜组彼此相隔不到 10 mm，则正常状况下的死程误差就可忽略。 机床几何显示当移动镜组位于轴的零点位置，这两个镜组彼此分得最开，此时可用预置功能来避免与定标激光干涉镜系统有关的潜在死程误差。 ②、余弦误差 激光束路径与运动轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运