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扫描电子显微镜最新进展 环境扫描电镜—低真空扫描电镜LV-SEM 场发射扫描高分辨扫描电镜 超大试样室等应用型扫描电镜 环境扫描电子显微镜技术特点 保留了常规SEM的全部优点：JSM―5600 LV―SEM的分辨本领已达5.0nm，自动切换到高真空状态后便如常规扫描电镜一样，分辨本领达3.5nm。 可以改变样品室的压力、温度及气体成分：在气体压力高达5000Pa，温度高达1500℃，含有任何气体种类的多气环境中，ESEM都可提供高分辨率的二次电子像； 自然状态下检测→试样可在未涂层状态下保持其原来的含水自然状态观察→样品表面出现电荷积累时，信号放大过程中所产生的正离子会被吸引到样品表面，从而抑制了区域性电场；　　 场发射扫描电子显微镜技术指标 分辨率0.6nm—加速电压30kV； 分辨率2.5nm—加速电压1kV； 当代扫描电镜更新换代的主流—促使高分辨扫描电子显微术和低能扫描电子显微术得到很大发展； 场发射扫描电镜主要发展 * * 扫描电镜主要性能及基本结构 扫描电镜基本工作方式 扫描电镜最新进展 扫描电子显微术 在样品表面 扫描振幅 AS AC 在阴极射线管上 扫描振幅 M = AC /AS 分辨率 D0 D0 = 两亮区之间的最小暗间隙宽度 / 放大倍数 放大倍数：取决于入射电子束在样品上的扫描振幅； 分辨率：影响分辨率的主要因素（束斑直径，电子束扩展体积，操作