柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的试验研究!-物理学报.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 2’ ’ %$$3 ’ ， ， ， TF: 12’ SF 1’ U@:E %$$3 （ ） $$$*%($N%$$3N2’ $’ N6$6*% OIPO 40QRHIO RHSHIO %$$3 IJ9. 1 4JE+ 1 RF, 1 柱面天线射频感性耦合等离子体放电 模式特性的实验研究! ! 丁振峰 袁国玉 高 巍 孙景超 （大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 #$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$’ ( ’ %$$’ $ ( 利用)*+,-.、电流、电压探头，通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参 数，研究了匹配网络、天线耦合强度、导电地面积、气压等多种因素对 ， 放电模式特性及模式转化行为的影响 基 / 0 1 于 型阻抗匹配网络中串联电容对射频电源输出功率的影响，提出了 — 放电模式转化的正负反馈区概念 研究 ! / 0 1 发现：在相同的其他放电条件下，处于正反馈区时等离子体放电易于产生跳变型模式转化，而且模式跳变的临界天 线电流、回滞宽度、跳变临界功率、跳变功率差等参数均随阻抗匹配网络参数产生明显变化；在负反馈区内，模式转 化过程趋于连续 由于阻抗匹配网络的影响，— 模式的跳变电流并不是总大于 — 模式的跳变电流 在不同导 1 / 0 0 / 1 电地面积、阻抗匹配网络、气压下，模式转化过程中等离子体直流悬浮电位的变化呈现多样性1 关键词：射频等离子体，感性耦合，容性耦合，模式转化 ： ， ， !## 2%3$4 2%2$5 2%6$7 ［］ 旋电场强度超过临界值% 1 在实际的应用中，为了提 C 引 言 高HI4 刻蚀的可控性以及降低电荷积累损伤，降低 放电功率（降低等离子体密度）是一种有效的方 ［］ 在各种低气压大面积均匀等离子体源中，射频 法 ，而在中等等离子体密度区，不仅 模式放电的 / 感性耦合等离子体（