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压电陶瓷超薄银电极的高平面度加工研究迅a , 压电陶瓷超薄银电极的高平面度加工研究 迅a , 金杨福b , 鲁聪达a 吕 (浙江工业大学 a. 机械制造及自动化教育部重点实验室; b. 化学工程与材料学院, 浙江 杭州 310014) 摘 要: 压电陶瓷换能器两端的银电极要求较高的平面度及较好的表面质量。由于其上的银电极极薄 (50～ 60 Λm ) , 加工 余量很少。一般的超精密加工过程易出现银电极加工过量的现象, 因此本研究直接采用单位去除量少的超精密抛光来对 超薄银电极进行超精密加工, 并采用高平面度的锡盘, 使银电极保留完整且平面度较高。本文通过各组工艺试验, 比较研 究了加工压力、抛光速度及抛光液对压电陶瓷银电极平面度、表面去除量的影响, 并得到超薄银电极的最佳加工工艺。 关 键 词: 压电陶瓷换能器; 银电极; 平面度; 表面质量; 超精密抛光 中图分类号: TQ 174. 75 文献标志码: A 文章编号: 100522895 (2007) 0120110203 0 引 言 压电陶瓷是工业、军事及航天航空领域中常用的 器件。它利用压电陶瓷的压电效应, 进行超声波的发射 和接收。 用于超声波清洗的驱动元件—— 压电陶瓷换 能器是以压电陶瓷为核心, 并在其两端镀上银电极, 如 图 1 所示。通过与银电极端面紧密接触的机械结构, 将 传递