光学薄膜在高功率激光系统中的应用.pdf

光学薄膜在高功率激光系统中 的应用 范正修 研究员 2005年10月 目录 • 前言 • 膜系种类 • 薄膜中的驻波场与温度场 • 激光对光学薄膜损伤的基本过程 • 薄膜的工艺过程 • 薄膜的沉积技术 • 薄膜的性能改善 前言 光学薄膜是高功率激光系统中的重要元件，也是所有元件 中最薄弱的环节 重要性 （ ）薄膜性能优劣很大程度上决定了激光输出的性能 1 （ ）损伤阈值更是限制了激光输出的强弱并危及激光系统的 2 安全运行 因此，不断改进薄膜性能，提高薄膜的抗激光强度，发展 新的薄膜技术，一直是国际薄膜界和激光界共同关心的问题。 前言 高功率激光所需的主要薄膜的种类： 不同角度的高反射膜、增透膜，不同尺寸的偏振膜， 不同光强比和偏振比的分光膜，不同谐波，不同要求 的倍频膜以及各种各样的波长分离膜等， 新型薄膜元件 超短脉冲激光所需要的啁啾薄膜，脉冲压缩用的光栅 薄膜，空间分布调整用的高斯反射膜，全固化技术用 的多波长薄膜、超低损耗高反射膜 前言 研究薄膜的激光破坏机理 在确保薄膜具有一定性能 , 的基础上 不断提高薄膜的破坏阈值 一直是高功率激光薄 , , 膜的中心工作. 与抗激光损伤阈值相关的研究： 分析了薄膜内不同类型的缺陷对薄膜破坏阈值的影响 , 研究了薄膜制备工艺 薄膜结构 薄膜应力对激光破坏的影 , , 响 实时研究了薄膜破坏发展过程 计算分析了激光在薄膜 , , 中的驻波场分布 提出了激光保护膜的概念 采用保护膜技 , , 术使薄膜的破坏阈值得到明显提高. 前言 薄膜制备技术：磁控溅射技术 离子束溅射技术 离子镀技 , , 术 化学气相沉积技术以及溶胶 凝胶技术。 , - - 离子束溅射和溶胶凝胶技术 不仅分别在超高性能激光反射 , -- 膜 超窄带干射滤光片和高功率激光减反射膜的制备中发挥了 , 重要作用 而且将在其他高功率薄膜技术中发挥更大作用 , . 测试技术：各种表面测试技术 用于激光薄膜的组份 价态 , , 和杂质分析,Nomarski显微镜用来进行薄膜破坏表面的实时监 测 原子力显微镜用于薄膜表面和损伤形貌的三维分析。 , 光热测量技术的应用 对高功率激光薄膜的性能的改进 起到 ,