Q_SXS02.02.48-2019洁净机器人电气安全测试规范.pdf

沈阳新松机器人自动化股份有限公司企业标准 Q/SXS02.02.48-2019 洁净机器人电气安全测试规范 2019-3-25 发布 2019-4-25 实施 发布 Q/SXS02.02.48-2019 前言 本标准是按GB/T1.1-2009 《标准化工作导则第1 部分：标准的结构和编写》进行编写。 规范性文件引用最新版标准。 本标准由沈阳新松机器人自动化股份有限公司提出并起草。 本标准主要起草人：刘嘉、张鹏、杨奇峰、徐方。 1 Q/SXS02.02.48-2019 洁净机器人电气安全测试规范 1 范围 本标准规定了洁净机器人电气安全的测试。 本标准适用于Q/SXS.02.02.15-2016 《洁净机器人》中规定的洁净机器人。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 SEMIS2-0712半导体制造设备环境、健康及安全基准 SEMIS22-0706a半导体制造设备电气设计基准 Q/SXS.02.02.15-2016洁净机器人 3 限制 若设备、组件（subassemblies ）与元件（components ）已经合格的测试实验室认证并在认证参数范围 内使用，或是可符合相关国际或国内产品安全标准指定范围，则不适用本规范。 4 术语和定义 4.1 接触 接近或触碰的方法。 4.2 可接触 拥有接触权或允许接触。 4.3 合格的测试实验室 由政府或规范管理机构认可专门从事零组件、装置或系统测试的独立机构，依据已制订的安全标准进 行评价。 4.4 载流容量 导线在使用条件下可持续负载的电流（以安培为单位），此容量不可超过绝缘体、导线及电线端子的 额定温度设计极限。 4.5 联结 （联结的） 金属零件的永久连接点，形成导电路径以确保电流的持续性并可安全地传导电流。 拟制： 审核： 批准： 日期： 2 Q/SXS02.02.48-2019 4.6 （机器的）控制装置 连接控制电路的装置，可用于控制机器操作（如定位感知器、手动控制开关、继电器、磁控阀门等）。 4.7 接地 将设备上的可接触导电零件接至电源的接地端。 4.8 电气箱 壁板、隔板或其他用来围住电气零组件的区域，可用来加强设备电气零组件的安全。 4.9 通电 与电压源连接。 4.10 设备 用于执行操作的特定机器、仪器、制程模组或装置。并非任何产品均适用 「设备」一词 （如基板、半 导体）。 4.11 故障 物件无法执行预定功能的状态。但进行预防性保养、其他计划性活动或是因缺乏外部资源而无法执行 所需的功能等情况，则不视为故障。 4.12 接地故障 电气电路接地或未接地导线与通常未载流的导线、金属外壳、金属线槽或金属设备间意外发生的电气 传导连接。 4.13 危险 造成不幸事故的先决条件。 4.14 危险电压 大于30VRMS、42.4V峰值