开发脚本指导方针图像获取.PDFVIP

开发脚本的指导方针：图像获取 发布者 ：飞纳电镜 脚本是帮助扫描电镜（SEM ）操作员日常工作的小型软件工具。它可以用来自动完成重复 性的任务，快速扫描大面积区域，或者在测量时获得更高的重复性。要做到这一点，必须 开发一个软件脚本。在这篇博客中，我们将指导如何开发一个小脚本。 扫描电镜工作流程 通常，扫描电镜（SEM ）的工作流程包括以下步骤 • 样品制备和装载。 • 图像采集 • 分析 • 评估 • 报告 • 结论 工作流程如图 1 所示。步骤 1 到 4 可以使用脚本自动执行。在我们之前的博客中已经讲解 了样品制备技术 ，以及溅射涂层如何帮助扫描电镜（SEM ）成像。 图像采集，步骤 1 ，主要是自我描述性的，并且涉及到获得高质量图像所必备的所有步 骤。首先将样品移到显微镜下的正确位置，并设置图像参数。通过获取和保存图像完成任 务。 图像分析涉及图像的处理，从图像中获取物理量。例如： • 设置背散射（BSD ）图像阈值，以量化图像中的成分差异。 • 分割图像以找到粒子 • 测量工作距离，以检测样品的高度 1 图 1 ：扫描电镜工作流程 在评估步骤中，对物理量进行评价和分类。可以通过以下方式完成： • 根据粒子的形态学计数粒子 • 确定样品的覆盖范围 • 计算样品上的缺陷数量 在报告步骤中，报告自动包含所有相关信息，以作出明智的决定。该报告可能是 • 获得的扫描电镜图像的有用信息 • 直方图显示了样品信息，例如覆盖率或大小分布 • 完整的 PDF 报告，包括表格、图表和图片 如果脚本是有效的，那么所有这些步骤都可以通过单击一个按钮来完成，并且在获取和处 理过程完成后，会出现一个报告。操作员只需检查报告并决定合适的操作。 在这篇博客中，我们将关注脚本开发的第一步，并解释如何高效地获取图像，以及如何使 用最合适的参数。在以后的博客中，我们将详细探讨其他步骤。 通过 PPI 来获取图像 在之前的博客中，已经展示了通过 PPI 来捕捉到一个图像是很容易的。这一次将展示 PPI 在获取图像中的全部潜能，以及在 Python 中获取这些图像是多么的容易。 2 图像采集是操作飞纳台式扫描电镜时需要学习的一种方法。要获得具有首选设置的图像， 必须创建包含图像获取参数的对象。这个类叫做 ScanParams。扫描参数类包含以下属 性： • size ：扫描图像的尺寸（分辨率） • detector ：探测器的配置 • nFrame ：用于信号到噪声改善的平均帧数 • hdr ：选择使用高动态范围模式，创建16 位图像 • scale ：在视野范围内的规模。 检测器是一个单独类别（称为 detectorMode ），它需要提供扫描参数。具有以下选项： • All ：使用所有BSD 探测段 • NorthSouth ：从上面两个中减去下面两个 BSD 段（Topo A ） • EastWest ：从右边两个中减去两个左边两个 BSD 段（Topo B ） • A ：只选择BSD 段 A • B ：只选择BSD