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太阳能电池生产的废气污染物及处理措施 太阳能电池生产的废气污染物及处理措施 福建华大环保工程有限公司 康聪成 [摘要] 根据太阳能电池生产工艺，分析生产过程中产生的废气及污染物，论述了废气治理措施。 [关键词] 太阳能电池生产 废气污染物 治理 太阳能电池是一种将光能转换为电能的光电元件，其基 烧结、封装等工序制得。 本构造是由 P 型和 N 型半导体接合而成。在太阳光的照射下， 1 太阳能电池生产工艺 P 型半导体内电子激发出来留下空穴，与 N 型半导体间形成 电位差，如果在 P 型和 N 型半导体的外部用导线将电极连接 福建省某太阳能电池生产企业已经建成 25MW 太阳能 起来，形成一个回路，将产生电流。太阳能电池是在半导体 电池生产项目，该项目太阳能电池的生产工艺流程及废气产 种掺入不同的杂质，做成 P 型和 N 型半导体，一般以高纯度 污环节见图 1。 的硅片为基材，通过对清洗、制绒、磷扩散、沉积、印刷、 酸性废气 扩散废气 刻蚀废气 酸性废气 硅片 硅片清洗 制绒 磷扩散 等离子刻蚀 去磷硅玻璃 PECVD 废气 印刷废气 烧结废气 镀减反射膜 丝网印刷 烧结 封装 太阳能电池 （PECVD ） 图 1 太阳能电池生产工艺流程及废气产污环节 1.1 硅片清洗 硅片在磷扩散过程中，其边缘将不可避免地扩散上磷， 硅片表面常常会粘附油污、灰尘等杂质，在制作太阳能 这将造成太阳能电池的短路。因此，必须去除太阳能电池周 电池前应先用纯水进行多次清洗。 边的掺杂硅。通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺。 1.2 制绒 等离子刻蚀是在真空状态下，反应气体 CF 和 O 在射频 4 2 制绒是对硅片进行腐蚀，使硅片表面形成密集的金字塔 功率的激发下，完全电离并形成等离子体。等离子体由于在 型角锥体绒面，以减少光的反射率。制绒液可采用氢氟酸和 电场作用下扩散到达硅片表面，和 Si 发生化学反应，反应生 硝酸混合的酸液，或氢氧化钠溶液。酸液在使用过程将挥发 成高温的 SiF 将脱离被刻蚀物质表面，经真空泵抽出，与空 4 酸性废气。 气中水蒸汽接触，发生如下反应： 1.3 磷扩散 SiF +2H O→SiO +4HF 4 2 2