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表面粗糙度测量新技术 ;点击添加文本;一．光学探针法;一．光学探针法 ;1-1 三角法探针原理图;1-2;1-4 三角法粗糙度探头光学原理图;2-1;2-2 临界角法探针实际系统图;像散 如果光学系统只存在像散，则子午光束和弧矢光束均分别交于主光线上的同一点。两交点的位置不重合，光束结构如图所示。整个光束形成两条焦线，分别称为“子午焦线”和“弧矢焦线”。 当像平面在子午焦线位置时，得到一条水平焦线，在弧矢焦线位置时，得到一条垂直焦线。在两焦线中间得到的弥散图形如下右图所示。;3-1 像散法的测量原理;二.外差干涉式轮廓测量;;三 .激光光斑法;点击添加文本