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* 一、圆度的测量方法和圆度误差的评定 第5节 圆度和回转精度的测量 2 圆度误差的图形表示 采用极坐标记录的圆度仪测的圆度误差曲线 圆度仪测出的圆度偏差曲线只表示相位的偏差，不表示圆的直径。同样的圆度偏差，放大倍数不同，圆度偏差曲线图形状不同，放大倍数越大，曲线图越呈星形。 * 一、圆度的测量方法和圆度误差的评定 第5节 圆度和回转精度的测量 3 圆度误差的评定 最小外接圆法：适用于轴类，因为它工作时起作用的是外接圆。 最大内接圆法：适用于孔类，因为它工作时起作用的是内接圆。 最小包容区域法：得出的数值比上两个都小，零件最容易合格，但该方法计算复杂。 最小二乘方圆法：数值比前两种方法小，比3法大，能反应被测轮廓的综合情况，容易实现电算。理论上比较合理。 * 二、圆度仪及其测量精度分析 第5节 圆度和回转精度的测量 1. 圆度仪的工作原理及类型--转轴式 适用于测量大型工件，转轴式测量时，工件不动，传感器测头绕主轴轴线作旋转运动，测头在空间的运动轨迹形成一理想圆。工件实际轮廓与此理想圆连续进行比较，其半径变化由传感器测出，经电路处理后，由记录器描绘出被测实际轮廓的图形，或由计算机算出测量结果。 TALYROND3、TALYROND73、HYQ-014A、DQR-1型圆度仪都属于该种结构。 转轴式圆度仪测圆度效果好，不易测圆柱度、同轴度、平面度和垂直度。 * 二、圆度仪及其测量精度分析 第5节 圆度和回转精度的测量 1. 圆度仪的工作原理及类型--转台式 转台式与转轴式相反，工件回转，而测头架不动。可测圆柱度、同轴度、平面度和垂直度、轴线直线度等。 TALYCENTA、TALYROND300、 JCS-042型圆度仪都属于该种结构。 * 二、圆度仪及其测量精度分析 第5节 圆度和回转精度的测量 2. 影响圆度仪测量精度因素 1）主轴回转误差 主轴回转精度代表圆度仪的精度和圆度仪的水平。现在圆度仪的精度一般为0.05μm，高精度为0.025μm。 2）工件轴线和主轴轴线偏心引起的误差 3）工件轴线对主轴轴线倾斜引起的误差 e-工件安装偏心；R-工件平均直径； -被测点相位角 -工件圆柱表面倾斜角； R-工件平均直径； * 二、圆度仪及其测量精度分析 第5节 圆度和回转精度的测量 2. 影响圆度仪测量精度因素 4）测量头形状和测头半径变化引起的误差 针形测头：测量误差小，测量结果中包含表面粗糙度影响，容易划伤工件表面。 球形测头：可选用适当半径，测量中可消除表面粗糙度影响，减少工件表面划伤。 斧形或圆柱形测头：可避免工件表面划伤和消除表面粗糙度影响，会使工件轴线倾斜造成的误差值加大。 * 二、圆度仪及其测量精度分析 第5节 圆度和回转精度的测量 2. 影响圆度仪测量精度因素 5）测量力的影响 工件材料软，测头曲率半径小时测量力取小值。一般取0.005-0.2N。 6）测量头偏位引起的误差 测量头要对准工件中心。测头偏位角在10°内，测量误差在2%以内。测小件时尤其要注意。 * 三、主轴回转精度的测量 第5节 圆度和回转精度的测量 将高精度钢球卡在主轴的端部，尽量调整使其同心，然后用测量仪测出其径向跳动。测出的径向跳动量包含主轴的回转误差和钢球的圆度误差（圆度误差很小）。（适用于回转精度在0.5-1μm以下的精密主轴，钢球圆度在0.05-0.1μm） 1 用高精度钢球测主轴的回转精度 * 三、主轴回转精度的测量 第5节 圆度和回转精度的测量 建立如图所示的直角坐标系。主轴回转中心O1点的坐标为x(θ)和y(θ)。s(θ)为被测工件的轮廓形状误差。测微仪A、B、C的输出信号分别为A(θ)、B(θ)、C(θ)，O为三个传感器轴线的交点。则 消去x(θ)和y(θ)得三点法误差分离基本方程为 2 用三点法误差分离原理测精密主轴的回转误差 * 三、主轴回转精度的测量 第5节 圆度和回转精度的测量 测量时，若取采样点数为N(工件转一周检测读数点数)，则令 并将 离散化得 最后求得任意时刻机床主轴回转运动误差 取值对测量结果有影响 * 第6节 激光测量 激光测量可以测量长度、小角度、直线度、平面度、垂直度等，还可以测量速度、位移、振动、表面微观形貌等； 激光测量可用于动态测量、在线测量，容易实现测量自动化； 激光测量可用于大尺寸测量； 激光测量可达到很高的测量精度。 双频激光测量系统测长度时分辨率达到0.01μm，采用空气参数补偿测量精度可达0.1μm，采用特殊稳频的高精度激光测量系统，测量分辨率达0.2nm，测量精度2nm。 * 1. 单频激光测量 第6节 激光测量 1 2 氦氖激光管1-透镜组2-平行光束 -反射镜4-分光镜5 相位板6-反射棱镜7 反射镜4-固定反射棱镜9 相位板6是为了获得两路相位差为90°的干涉条纹信号的