激光干涉测试技术_2011_V5.pptVIP

Chemistry rated EXCELLENT by HEFCE 激光干涉测试技术 传统的高精度三维形貌测量方法:接触测量 接触测量存在以下问题： 标准样板与被测表面必须十分清洁； 清洁工作多拿在手中擦试，由于体温的影响，影响测试准确度； 样板有一定重量压在被测表面上，必然会产生一定的变形，尤其是对大平面零件; 因此高精度曲面，曲率测量都使用激光干涉的非接触测量方法。 历史进程 17世纪后半叶，玻意耳(Boyle)和胡克(Hooke)独立地观察了两块玻璃板接触时出现的彩色条纹，人类从此开始注意到了干涉现象。 1801年 托马斯·杨(Thomas Young)完成了著名的杨氏双缝实验，人们可以有计划、有目的地控制干涉现象。 1860年 麦克斯韦(C.Maxwell)的电磁场理论为干涉技术奠定了坚实的理论基础。 1881年 迈克尔逊(A.Michelson)设计了著名的干涉实验来测量“以太”漂移。 1960年 梅曼(Maiman)研制成功第一台红宝石激光器，以及微电子技术和计算机技术的飞速发展，使光学干涉技术的发展进入了快速增长时期。 1982年 G.Binning和H.Rohrer研制成功扫描隧道显微镜，1986年发明原子力显微镜，从此开始了干涉技术向纳米、亚纳米分辨率和准确度前进的新时代。 §1 光的电磁波理论基础 光是某一波段的电磁波 光的电磁波理论基础：简谐振动的旋转