传感器与检测技术_第2章应变式传感器.pptVIP

第2章 应变式传感器 概述 基于元器件电阻变化的传感器十分常见，这是因为许多物理量（力、力矩、位移、形变、速度、加速度等）都会对材料的电阻产生影响。 电阻应变式传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器。 传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成。 应变式传感器的灵敏度较高，目前已应用于各种检测系统中。 2.1 工作原理 电阻应变片的工作原理是基于应变效应的，即在导体产生机械变形时，它的电阻值相应发生变化。 2.1 工作原理 金属电阻丝，在其未受力时，原始电阻值为: ρ——电阻丝的电阻率； L——电阻丝的长度； S——电阻丝的截面积。 当电阻丝受到拉力F作用时，将伸长 ，横截面积相应减小 ，电阻率将因晶格发生变形等因素而改变 ，故引起电阻值相对变化量为: 2.1 工作原理 式中 是长度相对变化量，用金属电阻丝的轴向应变ε表示，ε数值一般很小表达式为： ΔS/S为圆形电阻丝的截面积相对变化量，即： 2.1 工作原理 由材料力学可知，在弹性范围内，金属丝受拉力时，沿轴向伸长，沿径向缩短，那么轴向应变和径向应变的关系可表示为： ● μ—电阻丝材料的泊松比； ● 一般金属μ=0.3-0.5，负号表示应变方向相反。 将式(2-3)、 (2-4)、 (2-5)代入式(2-2)，可得： 2.1 工作原理 又因为 λ-为压阻系数，与材质有关； σ为试件的应力； E为试件材料的弹性模量。 所以 根据上述特点，测量应力或应变时，被测对象产生微小机械变形，应变片随着发生相同的变化，同时应变片电阻值也发生相应变化。 当测得应变片电阻值变化量 时，便可得到被测对象的应变值。 2.1 工作原理 由前述可知： 应力值σ正比于应变ε，而试件应变ε正比于电阻值的变化，所以应力σ正比于电阻值的变化，这就是利用应变片测量应变的基本原理。 2.2 电阻应变片特性 2.2.1 电阻应变片的种类 常用的应变片可分为两类：金属电阻应变片和半导体电阻应变片。 金属应变片由敏感栅、基片、覆盖层和引线等部分组成，如图所示: 2.2 电阻应变片特性 敏感栅是应变片的核心部分，它粘贴在绝缘的基片上，其上再粘贴起保护作用的覆盖层，两端焊接引出导线。 金属电阻应变片的敏感栅有丝式、箔式和薄膜式三种。 箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅，厚度一般在0.003-0.01mm。其优点是散热条件好，允许通过的电流较大，便于批量生产，可制成各种所需的形状，如下图所示： 2.2 电阻应变片特性 箔式应变片缺点是电阻分散性大。 薄膜式应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成0.1μm以下的金属电阻薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。它的优点是应变灵敏度系数大，允许电流密度大，工作范围广。 2.2 电阻应变片特性 半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。 所谓压阻效应，是指半导体材料在某一轴向受外力作用时，其电阻率ρ发生变化的现象。 半导体应变片受轴向力作用时，其电阻相对变化为式： 2.2 电阻应变片特性 实验证明，半导体材料的 比 大上百倍，所以 可以忽略，因而半导体应变片的电阻相对变化为： 半导体应变片的突出优点是灵敏度高，比金属丝式应变片高50~80倍，尺寸小，横向效应小，动态响应好。但它有温度系数大，应变时非线性比较严重等缺点。 2.2 电阻应变片特性 应变片是用粘合剂粘贴到被测件上的。 粘合剂形成的胶层必须准确迅速地将披测件的应变传进到敏感栅上。 粘合剂的性能及粘贴工艺的质量直接影响着应变片的工作特性，如零漂、蠕变、滞后、灵敏系数，线性度以及它们受温度变化影响的程度。 2.2 电阻应变片特性 2.2.2 电阻丝的灵敏度系数 通常把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏度系数。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化量，其表达式为: 2.2 电阻应变片特性 由定义可知灵敏度系数受两个因素影响： ●一个是受力后材料几何尺寸的变化,即 ， ●另一个是受力后材料的电阻率发生的变化，即： 。 对金属材料来说， 的值要比 大得多，即