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Structure and Principle of Capacitive Pressure Sensor 电容式压力传感器结构与原理 课程组: 梁长垠、宋荣、苏全、韩君、张胜宇、贾方亮、梁召峰 Sensors application technology 1. 基础知识 2. 基本特性 3. 工作原理 4. 应用分析 课程内容 Course Contents 1. 基础知识 2. 基本特性 3. 工作原理 4. 应用分析 课程内容 Course Contents 1. 基础知识 电容式传感器 电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测物理量的变化转换为电容量的变化；它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。 1. 基础知识 电容式传感器的种类 d、s、ε 三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化，并可用于测量。因此电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类。 极距变化型 面积变化型 介质变化型 1. 基础知识 2. 基本特性 3. 工作原理 4. 应用分析 课程内容 Course Contents 2. 基本特性 电容式传感器特点 温度稳定性好，一般与电极材料无关，仅取决于电极的几何尺寸，且空气 等介质损耗很小。 结构简单，适应性强，易于制造。 静电引力小： 动态响应好、响应时间短，固有频率很