压力感测元件简介.pdf

壓力感測元件簡介 作者 ：王崇飛 (1999-08-19) ；修改 ：王崇飛 (2000-05-05) ；核可 ：徐 業良 (2000-05-08) 。 作者 ：王崇飛 (1999-08-19) ；修改 ：王崇飛 (2000-05-05) ；核可 ：徐業良 (2000-05-08) 。 附註 ：本文為 元智 大學機械系大四自動 化 機械設計實 務課 程 教材 。 附註 ：本文為 元智 大學機械系大四自動 化 機械設計實 務課 程 教材 。 壓力感測元件簡介 一、壓力感測元件之原理介紹 在所有微細加工技術所製造的元件中，壓力感測元件是最早商品化的，同時應用 也最為廣泛，壓力感測元件已大量地應用在汽車、醫療、工業量測、自動控制和各種 電子產品上。壓力感測元件所應用的原理相當多，如壓電效應 (piezoelectric) 、壓阻效 應 (piezoresistive effects) 、以及電容效應。 壓電效應 所謂壓電效應是指當機械作用力作用於材料時，材料所能產生的電效應，相反的 當施加電場於材料時，能夠使材料產生機械變形。這種現象只存在某些結晶材料，如 石英 、氧化鋅 、鈦酸鋇陶瓷 、鈦酸鉛鋯陶瓷 ， (Quartz) (ZnO) (BaTiO ) (PbZrTiO , PTZ) 3 3 或是一些特殊的化學聚合物如 PVDF ，由於矽晶具有中心對稱的網格結構無法展現其 壓電性質，因此這些材料必需經過一定的製程塗佈於矽晶表面才能具有壓電性，如石 英必需依一定的軸向切割、壓電陶瓷需經過高電場極化。 當施加外力 於壓電材料時，其表面充電量 滿足下式 F q q q F Ξ q (1) 其中 為材料之壓電係數 ，單位為庫倫牛頓 Ξ(Xi) (piezoelectric coefficient) / 工業界常用的壓電材料其壓電係數、介電常數如表所示，其中石英為天然物質 1 產量有限，而鈦酸鋇陶瓷 與鈦酸鉛鋯陶瓷 雖然具有相當高的壓電 (BaTiO ) (PbZrTiO ) 3 3 係數，但由於只能製作成厚膜實用性不高，因此業界常用可以利用蒸鍍方式製成薄膜 的氧化鋅 (ZnO)為壓電元件。 1 .tw/ 壓力感測元件簡介 表 1 常見壓電材料於 300K 之特性 材質 結晶型式 運用方式 壓電係數 Ξ 介電常數ε Quartz Glass Bulk 2.33 4.0 PVDF Polymer