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清洗机原理及设备结构介绍 清洗目的及环境要求 目的：基板经过切割裂片后，在玻璃表面容易残留玻璃碎屑，清洗的主要目的是在短时间内将玻璃碎屑冲掉，避免玻璃屑重新附着在基板上，造成玻璃异物，不容易去除。 环境要求：①环境温度：22+2℃，相对湿度： 45%+10%；②洁净等级：5000级，与相邻加工区保持微正压，与相邻检查区保持5Pa微负压。 清洗工艺流程 WDT：预湿机 CLE1：输入传送带 CLE2：盘刷清洗 CLE3：超声波清洗 CLE4：二流体清洗1 CLE5：滚刷清洗 CLE6：二流体清洗2 CLE7：最终喷淋 CLE8：风刀干燥 CLE9：输出传送带 WDT预湿机 预湿机的作用：①对玻璃进行预湿；②对研磨后的玻璃进行抽检；③投入玻璃进行二次清洗。 预湿机的结构：机架、传送滚轮、喷淋装置、护罩、水槽、升降机构。 水平传送滚轮（小滚轮）：直径60mm。 抽检传送滚轮（大滚轮）：直径150mm。 小滚轮材质：UPE 。 大滚轮材质：POM。 升降机构是由气缸带动机架升降，旁边有4个导向轴，上面是大滚轮。 喷淋管上面7排，下面2排水管，由1#水箱供水。 共有4个传感器：入口、出口、中间两侧。 超高分子链聚乙烯 聚甲醛 DWT抽检 （1）水平传送部分：通过电机减速机带动大滚轮转动，水平传送与预湿机连接处设有小滚轮过渡。 （2）翻转部分：通过左右端2个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮转动，从而带动机架翻转73°，（翻转架子上装有2个光电传感器检测玻璃），架子下部设有2个缓冲器。 预湿机及DWT抽检示意图 进入传感器 抽检传感器 二次投入传感器 大滚轮 输出传感器 过渡小滚轮 翻转架 对射光电传感器 玻璃输入 玻璃输出 抽检玻璃输出投入 预湿机抽检传送流程 预湿机抽检传送动作流程： 玻璃通过预湿机需要抽检时，经过入口磁性传感器传送带开始减速，当玻璃经过中间一侧的磁性传感器时，传送滚轮停止，同时气缸带动机架上升20mm停止，垂直传送滚轮开始运行，此传感器检测到玻璃离开后，机架开始下降，回到原位，水平传送带又开始水平输送玻璃。 输入 传送带（CLE1） （1）传送带设有定位装置，两侧各1个汽缸定位玻璃。 （2）滚轮的材质是尼龙，挡边轮材质是UPE。 （3）设有2组滚刷，上下各2排，滚刷转动方向与玻璃前进方向相反。 （4）传送带出口处设有1组海绵滚筒，抹干玻璃上的水份。 （5）喷淋用的是6#水箱的水，水经10μm过滤器进行过滤。 工作原理：玻璃进入输送传送带，上下各7排喷淋系统对玻璃进行初始清洗，三菱的变频电机驱动轴上的斜齿轮组来带动传送带，当磁性传感器检查到玻璃通过时，两侧的汽缸驱动定位块对玻璃定位，来矫正玻璃的位置。 输入传送带结构示意图 其结构示意图如下： 磁性传感器 盘刷清洗（CLE2） 设备结构： 盘刷区共有4组盘刷，盘刷的间距和转速都可以调节。 盘刷区还有喷淋装置，喷淋装置上的喷嘴方向可以调节，上有压力表和调节阀门，还有观测流量计。 盘刷清洗水需加入清洗剂，由2，3#水箱（一用一备）提供，由于加入了清洗剂废水不能被其他区域利用，只能自身循环利用，且水需要加热到40~45℃。清洗剂：PK-LCG211，水的PH值为12~14。 盘刷清洗 刷毛：Φ=0.1mm，尼龙材质。 上下盘刷：交叉1~2mm。 升降调节方式：锥齿轮+螺旋升降+前后同步。 驱动方式：交流变频电机（滚轮驱动），盘刷轴驱动为直流电机。 盘刷：直径85mm。 转速：200～300r/min（可调）。 盘刷传送带示意图 盘刷 盘刷清洗水箱示意图（CLE3） 高液位传感器 低液位传感器 浓度测量仪 温度传感器 加热管 取样管 超声波清洗（CLE4） 超声波介绍： （1）有7个振板，每个振板共有16个振子,每个振子功率50W。 （2）超声波发生的频率为40-90KHZ。频率、功率可调。 （3）水箱有两个一用一备（4#、5#水箱）。 （4）水箱有加热装置、浓度、温度传感器。 （5）水箱中有4个浮球式传感器检测液位。 （6）强碱性清洗剂，PH值12-14。 （7）1个清洗剂箱。 注：玻璃是浸泡在水中进行传送和清洗的。 超声波传送带示意图 由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质—清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50μm-500μm的微小气泡，这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区迅速闭合，在这种被称之为空穴作用的过程中，气泡闭合可形成几百度的高温和超过1000个气压的瞬间高压，连续不断产生瞬间高压就像一连串小“爆炸”不断地冲击物体表面，使物体的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目