自动光学检测仪(aoi)-在印制板制造工艺上的应用.pdfVIP

维普资讯 ClpC 电《子电路与贴装2004年第1期 蕊 国 艺上的应用 源 明 在印制板制造工艺中，最典型的是利用 自动光 决对精细导线 (S／L=30／50微米)的检查。对于有阻 学检测系统在印制板上的应用 ，其中多数应用在多 抗要求的导线宽度公差控制不会 比±5一l0微米变 层板的内外层或高密度双面板表面质量的检查。但 化更大是可能的。而AOI的灵敏度不会记录这样 是在其它方面的应用也比较多，特别是对高密度互 的线宽变化 。检查光具 (即底片)通常应该在清洁 连结构 (HDI)微通孔和表面的检查。而且还应用在 的、黄光室内进行 ，不建议到AOI作业 区进行检 IC封装和装配中的印制板的检查。AOI很有效地 查 ，应此区域清洁度不够。因此，实际上 AOI机不 应用诸多方面，为提高印制板的表面质量 ，发挥 了 是检查内层或外层的光具膜的机器。 重要的作用。 AOI实际上也可以检验玻璃底版的图像质量， 一 即玻璃上镀铬膜。这些底版通常制作和检验是通过 ． 底片的检查 转包公司再送交PWB制造厂的。典型的要求就是 自动光学系统的设计是根据底片检查工艺特 底版上的缺陷的尺寸在5微米或更大些。许多使用 性 ，采用透射的模式即将需要检查的底片放置在玻 玻璃底版的用户也使用检查玻璃的工具进行检查， 璃桌台上，而不采用抽真空台面，而是通过玻璃桌 以延长使用的寿命。但使用玻璃底版也很贵。 面的下的光束透过玻璃进行对底片的扫描来检查 玻璃底版至少要曝光百次以上，最典型的次数 底片相应位置上的缺陷。使用这种方法对底片进行 为200—500次，就必须使用 AOI对玻璃底版图像 表面质量的检查 ，为更加清晰的将印制板表面缺陷 进行质量检查 ，还可以通过曝光试验 ，如底版的图 呈现出来，对该系统的放大装置作了很大的改进 ， 像好就可以接着使用，或者进行修整。 达到了既是印制板表面的很小的缺陷都能检查出 来。当在印制板生产过程中使用该系统时，就能将 二．覆盖有光敏抗蚀剂的板在进行显影 印制板面的5m和 5m以下的缺陷检查出来 ，并 前的潜像质量的检查 且能够适当的区别错误的真假 ，就是采用高级的识 这一步最基本的想法就是在湿处理前 ，对板的 别系统大大的减少故障缺陷的发生。 图像与孔对准度进行检查，及早发现如有质量缺陷 在反射模式将白色的纸放置在光具 (底片)之 就很容易得到解决。但是，检查的这种类型膜层的 下，介于光具透明和不透明范围之间，以提高其对 潜像不是广泛地，这是因为板膜层的颜色均匀而且 比度。经过交替的变换达到或接近所使用的标准的 差别很大 ，特别在对已曝光和非曝光范围的膜层 ， AOI系统。这种方法不是通用的的，更多的倾向是 即使用特殊过